可在液氫溫度環(huán)境使用的壓力傳感器

寂靜天花板

當(dāng)前，壓力傳感器應(yīng)用非常廣泛，但超低溫壓力傳感器一般只在軍事和科研上使用。尤其是在軍事上，對(duì)壓力傳感器的要求非常苛刻。目前軍用低溫壓力傳感器普遍可以在-200℃環(huán)境下穩(wěn)定工作，性能上需拓展。
* w/ x7 z/ G9 x5 `6 K( I9 t據(jù)資料，該低溫型脈動(dòng)壓力傳感器屬于電阻應(yīng)變式壓力傳感器。傳感器采用離子束濺射薄膜技術(shù)，在金屬膜片上直接生成電介質(zhì)隔離膜和功能材料電阻膜（薄膜應(yīng)變電阻），在電阻膜上制作應(yīng)變電阻，組成惠斯通電橋。當(dāng)被測介質(zhì)的壓力發(fā)生變化時(shí)，應(yīng)變電阻阻值也隨之變化，從而使傳感器輸出電壓值發(fā)生變化。傳感器金屬膜片上還制備了一個(gè)測溫電阻，通過測溫電阻，當(dāng)傳感器的工作環(huán)境溫度發(fā)生變化時(shí)，測溫電阻阻值也隨之變化，并提供給變換器，通過變換器獲取工作環(huán)境溫度。低溫型脈動(dòng)壓力傳感器系統(tǒng)具有使用測量低溫區(qū)寬的特點(diǎn)，傳感器使用溫度范圍為-253℃~ 60℃(液氫溫度)；測量范圍：(0～60)）MPa。

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