可在液氫溫度環境使用的壓力傳感器

寂靜天花板

當前，壓力傳感器應用非常廣泛，但超低溫壓力傳感器一般只在軍事和科研上使用。尤其是在軍事上，對壓力傳感器的要求非常苛刻。目前軍用低溫壓力傳感器普遍可以在-200℃環境下穩定工作，性能上需拓展。
% b, O' p4 c. w6 ^據資料，該低溫型脈動壓力傳感器屬于電阻應變式壓力傳感器。傳感器采用離子束濺射薄膜技術，在金屬膜片上直接生成電介質隔離膜和功能材料電阻膜（薄膜應變電阻），在電阻膜上制作應變電阻，組成惠斯通電橋。當被測介質的壓力發生變化時，應變電阻阻值也隨之變化，從而使傳感器輸出電壓值發生變化。傳感器金屬膜片上還制備了一個測溫電阻，通過測溫電阻，當傳感器的工作環境溫度發生變化時，測溫電阻阻值也隨之變化，并提供給變換器，通過變換器獲取工作環境溫度。低溫型脈動壓力傳感器系統具有使用測量低溫區寬的特點，傳感器使用溫度范圍為-253℃~ 60℃(液氫溫度)；測量范圍：(0～60)）MPa。
6 m$ F3 G! a3 m. ^8 P/ M5 j