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CVD鑽石薄膜材料,中國(guó)人搞的

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1#
發(fā)表于 2007-3-16 20:00:32 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式

; y3 r- c; [$ [ L7 A1 P* S

4 x, z) ^9 K$ T7 s6 E3 j- Z1 F* @; s. M; H4 h- H7 U6 D' y. W9 N0 N8 I( y( P4 E0 G5 ]: y { r6 V0 _( l) U' d O5 z8 W' Q0 `3 H) [+ M5 S$ l ^( @6 i. i H" G& q) I1 B$ [7 z% J8 m+ e$ `) m3 Q( S5 f6 O* s: l; C% x. s& c% d3 Z0 B0 b; M9 |5 |. u( M3 q$ }" l+ q$ l8 s6 S. s$ L" \" C9 |% R' c9 h+ [; o1 [. ]( i' u& }5 x$ v9 a1 h* i8 s. |; u! h- ]* f2 I0 U8 m: w$ ^8 l2 p! _1 J# ]+ v7 g. j/ k, ^$ {! [( A' Z; o/ u8 E, t2 p; z" f9 ]1 t( L) M2 i7 n# E% \, f- `+ o" C! K* d; S8 r- U7 _) i: H2 R0 w2 {" h% s" ]- C/ W. G( z; y* L; C8 }, b1 o* J0 ?3 t% h9 p n, E& s! P9 ?0 Q; E/ f1 d& s9 ?5 w/ Y U1 @5 K- `, o8 Q3 O8 l4 s& F2 u6 `, ?* n @' @) O% e5 | ^- {0 a, i5 d: U3 B, }6 S% x# Q8 D9 g0 B
' D% X: H" G$ f( F9 s

X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv,30mAstep 0.02 deg.speed 4 deg. / min.fficeffice" />

" k. i6 S3 P+ z, h, A

 or 1 deg. / min.)

3 W. L" H6 k& ]6 {

  ◎晶體結(jié)構(gòu)

- H K2 U: j8 ^6 r: K

  Cubic

, B, P% s! L' S9 e0 H

  ◎空間群

# R" e; o9 A8 I6 r d7 I5 b# |; G. z; E

  Fd–ffice:smarttags" />3m

+ n/ S, m' B. ]3 `; q% X \1 K; ~

  ◎晶格參數(shù)(R.T)

9 b1 r& X. I- ^4 S6 T, H! s+ r

  (A) 3.570

* }, a/ f; _ x2 _$ H( w* o, L

  ◎密度(g/cm3)

1 ?* H$ g {$ G

  3.508

, `) b8 k6 Q4 J1 G9 X' ^

  ◎晶面(111)

, p0 q4 W5 _- e* r9 D+ N+ l! z0 }

  202

o. m+ u! `0 ~) x F

粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )

0 _2 a( ?! L! `% w

◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )

' o1 P: |; O3 L" J9 ~; e

總面積 / 底長(zhǎng)86.39 nm霧面,1.052 nm亮面。

+ p. I& t; r t, w- {& P v

◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )

9 q6 }, I i1 }

104.8 nm霧面,1.321 nm亮面。

2 R; E8 o* |* f7 { L2 h2 p( y+ j0 S

Rp 250.4 nm霧面,2.592 nm亮面,Rv 189.1 nm霧面,6.156 nm亮面。

: ^5 \$ {& v# s, N# w" y* B

◎高低差異值為 8 nm 亮面。

# Z5 k* m6 c( f# Z

 

4 T+ c) f7 c* |5 `/ a

 

# K8 |8 [% q/ h

 

) u2 A8 o) z2 o

 

! i O m u$ V, G1 z! U

 

. w; i ]; i% }6 A6 Y

 

! W+ _6 v! }, I$ n; q8 D

 

r' e6 I4 h; i" H& X2 s( F7 D

 

7 `' {/ ?- q0 h

 

6 c- g# S3 W6 h- V

 

- [* U1 ]" M5 p2 q$ f1 Q* D5 }

 

+ z" z/ o9 Y% ]* r# }" o. E( G% S4 V

 

, n* M/ N) W$ e5 }8 ^

 

5 m: F+ T: B- H! q8 t/ g

 

Z) y7 a7 D+ ]& ?# w3 }8 l. Q

圖片:

6 o& _" H; Q" _% e% b

顆粒顯微分析一

2 s# u( i7 \* i: {: T

 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

+ r7 a8 n' A9 V; f4 O

顆粒顯微分析二

& U7 R. p5 }1 r8 d4 ~5 M

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

$ Y; \4 D& u1 c6 u) L, Q2 W

顆粒顯微分析三

( y1 ]! R# i1 U; f3 j

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

5 u. C0 A/ z# A/ m

顆粒顯微分析四

/ m {2 {1 j' a ^- x& k M. n' ?

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

/ W7 V0 ]; A$ o+ J) _) n

顆粒顯微分析五

! U1 c8 X6 C$ j- t) P3 X8 c

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

8 @8 c, y" q4 Q6 K. C

顆粒顯微分析六

/ e0 z6 Y" \* V, P6 o- q3 b

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

$ q' u+ |5 O4 H0 n4 A* O

顆粒顯微分析七

3 ~7 p7 S' o. x2 w4 b

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

' l W; e! z& ^# \# G# c

 

7 `2 {8 O' _) m" _6 Z+ w+ ~ K

      

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2#
 樓主| 發(fā)表于 2007-3-16 20:10:58 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國(guó)人更行!!!

補(bǔ)充:3 _- @$ H$ N* U; ~  V3 L
這是完全由中國(guó)人研發(fā)並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料" y' X* r- M& l$ q7 g2 P
日本人做到2吋!!中國(guó)人做到4吋
4 |: o7 M8 M- S3 u/ F圖一是鑽石膜晶片拋光品質(zhì)
8 p: d% }; q. n1 Y' ^圖二是拋光與未拋光之比較
: I* [6 x' l" T圖三至圖七是電子顯微鏡照片
3#
發(fā)表于 2007-3-16 20:25:53 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國(guó)人更行!!!

呵呵,希望中國(guó)的各行各業(yè)都能像這樣超過(guò)日本人~~~~
4#
 樓主| 發(fā)表于 2007-3-20 23:50:30 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國(guó)人更行!!!

為啥沒(méi)人頂??不懂材料特性??
; b4 V3 `  J4 n5 ^3 J% S4 W( A0 q我再補(bǔ)充一下!!!- m* @/ Y7 m3 m2 K; Q
鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,熱傳導(dǎo)率1300~2100W/mK(銅397),比熱1.81J/cm3K(銅3.4),熱擴(kuò)散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)
: y4 C& m1 z" s" e+ a其散熱及不沾粘性是世界公認(rèn)
, f# \/ z: z! P6 n在電子應(yīng)用LED上可替代藍(lán)寶石基材,可作IC等散熱片+ K2 T# W# ^* V. y7 m
在機(jī)械行業(yè)可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料
4 d2 W$ |8 o8 d6 n/ X) H) O我的QQ是4731374045 R5 j+ E# K. @9 v% j# Q% {$ R
歡迎大家一起討論
5#
發(fā)表于 2007-3-21 09:40:11 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國(guó)人更行!!!

不懂不懂,請(qǐng)教:這種鉆石薄膜是柔性的嗎?可以做密封件嗎?可以成型嗎?是否有買(mǎi)??jī)r(jià)格是否很貴?謝謝。
6#
 樓主| 發(fā)表于 2007-3-21 13:17:02 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國(guó)人更行!!!

原帖由 滴水天 發(fā)表# E. W7 l6 z+ m2 h5 V 不懂不懂,請(qǐng)教:這種鉆石薄膜是柔性的嗎?可以做密封件嗎?可以成型嗎?是否有買(mǎi)??jī)r(jià)格是否很貴?謝謝。

7 k0 f1 W% e- z# L0 w( b( n

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達(dá)到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導(dǎo)靠零件,耐酸鹼,可替代所有超硬材料,現(xiàn)規(guī)格是四吋

2 j; f/ Q0 ? D( m7 }9 K

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

& b- p* |) _0 z' x

QQ: 473137404

7#
發(fā)表于 2007-3-21 14:31:38 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國(guó)人更行!!!

想了解下:使用什么設(shè)備(哪國(guó)的)來(lái)制造的?
8#
 樓主| 發(fā)表于 2007-3-21 15:06:55 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國(guó)人更行!!!

中國(guó)人自行開(kāi)發(fā)的CVD設(shè)備

9#
發(fā)表于 2007-3-21 15:22:17 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國(guó)人更行!!!

只知VCD,CVD?液晶面板。。。?
10#
 樓主| 發(fā)表于 2007-3-21 15:39:24 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國(guó)人更行!!!

fficeffice" />化學(xué)氣相沉積技術(shù)(Chemical Vapor Deposition縮寫(xiě) CVD)

% D6 Y3 T H. Z0 S

ffice:word" />化學(xué)氣相沉積是製造微電子元件時(shí),被用來(lái)沉積出特定薄膜(film)的技術(shù),所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導(dǎo)體、或半導(dǎo)體。

. V1 r- \2 f0 P8 N# |* S: k

 

" Z1 s" q3 C1 c- @" N

 

+ p; I$ A! p( ?5 N

 

4 Q8 z0 k! X8 ^) s/ {+ V; F

物理氣相沉積技術(shù)(Physical Vapor Deposition縮寫(xiě) PVD)

" m: V0 z8 B5 A) b$ d7 e. Q2 A

物理氣相沉積應(yīng)用方式與化學(xué)氣相沉積相似,主要有三種製程:蒸鍍(Evaporation Deposition)、離子鍍(Ion Plating)、濺鍍(Sputtering Deposition)及衍生性濺鍍。

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