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CVD鑽石薄膜材料,中國人搞的

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1#
發表于 2007-3-16 20:00:32 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式

6 F2 Q, G \0 K

1 ^- x! o2 m) C" a/ c/ [+ t, f3 S( _' H% E- K4 p$ @2 [2 h1 Q/ ^$ L. t$ M# l/ @8 E- U- C6 s; d2 p$ Q. p7 q$ \+ n+ x z; Q" l. {) I2 r" z0 f8 Y9 |# m: p' L% z L! u+ P) Y: n. O* R7 j- ?+ u$ ]# g) H2 ]- R4 c7 h: S A" T0 r, W1 y; Q( ~" [# Y5 j8 l7 ~3 Q+ A; f' b' z- a2 z, N& R. o9 F" ^) F1 }$ q1 a. D" w# ~' o; C L0 C0 J+ S* H& A, ]# ?1 A- u1 _" R; f0 G% U! _( X0 C: S/ X( Y9 s% _* `% f/ k1 [; M) @% R8 r( R& G3 X% c7 S+ N2 y: l7 q I; i. O; x# n7 }$ v5 \7 C0 W% |, N3 g: m) Z% Q; L' X$ H$ c x' H |8 I. Q6 i0 h% M* O$ g3 `$ b, S* R- @# ?- u8 t; W l; t* f+ ^+ v0 p' w2 q7 D0 H& n: ?7 ?3 W6 U G5 E" n5 B% O- g4 Y5 W$ J) A. `3 a# @; ]/ Z7 A6 B4 I7 P$ m0 L6 ` t$ d8 {. e p5 |7 a' `) }7 j
7 p% o9 o& ^. b$ l. Z% T; ]

X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv30mAstep 0.02 deg.speed 4 deg. / min.fficeffice" />

( h; g4 n3 X6 @9 e: N# S3 }1 U/ ^

 or 1 deg. / min.)

9 z! s8 `+ U4 T- T$ O$ K' @

  ◎晶體結構

) c+ V, }0 F, n, H' x

  Cubic

/ Z' {2 s: {* _3 E! P

  ◎空間群

( U- _" d; H7 _4 B) q" t5 i

  Fd–ffice:smarttags" />3m

* A( l5 H6 v B( H0 r

  ◎晶格參數(R.T)

. y5 V8 q3 e) m% o" A. X! K

  (A) 3.570

) z! C- T! J: r+ [( g; d" t

  ◎密度(g/cm3)

7 z0 J% z( w7 U8 N7 S& t

  3.508

0 y3 i! C% }! e! }

  ◎晶面(111)

( g% }3 d8 u/ d3 c

  202

- o0 i# p% S, E. _' t

粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )

, H' v3 b" y6 b- Z# c

◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )

R" D" K! w4 d4 ^

總面積 / 底長86.39 nm霧面,1.052 nm亮面。

' B6 ^* W9 E& Z. o1 \ C. N

◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )

) e5 o+ t" ~9 W8 u/ e. a2 Q

104.8 nm霧面,1.321 nm亮面。

1 D5 w7 i) Q+ t b8 g! T7 i/ A

Rp 250.4 nm霧面,2.592 nm亮面,Rv 189.1 nm霧面,6.156 nm亮面。

( [6 P y9 t# ~+ U- w2 }- l4 \+ h

◎高低差異值為 8 nm 亮面。

7 a8 B" ?5 ]* i! S6 Y: H3 M& s

 

5 [3 K' d5 Q" `1 e' j9 ~* T

 

& d$ F" ?/ |, {" R% ~& }3 W9 q

 

8 g4 u5 h& I4 |

 

' }# x# l' J) U. B

 

4 [0 q# v4 k. i- R6 Q" B0 `* R

 

# I! g1 H7 y. y# I- V' l G6 J) z3 q

 

0 F/ G, p$ `; Q; v0 M/ y

 

2 V. n( Q1 E3 ?/ w. G% V$ a

 

5 R/ X, d! P5 p

 

6 `' Y+ n' N" \- A

 

/ ~; r; q2 l( e% c$ F! p) J

 

0 ]$ u+ q9 \9 \" p8 R6 Z

 

- i7 D7 ]. u- B3 a

 

9 u) p: I9 F; c2 g" Q

圖片:

+ s! P/ Y' t, s* ]% J0 _+ |

顆粒顯微分析一

! @; p, M! K( G6 C9 ]

 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

9 w, A0 |/ U% G* T

顆粒顯微分析二

1 @* U) X( k4 o

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

3 `' p. a0 f. G- A# d- d9 U

顆粒顯微分析三

& A, L4 z2 J. O4 T' u" h# D1 T7 [5 P

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

3 h3 W4 }& e9 O8 }% D8 a! i+ M1 l

顆粒顯微分析四

5 a& i! ]7 w, t9 x7 E

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

3 c$ t3 H, T Z5 L+ y7 C

顆粒顯微分析五

1 V! N: Q! y0 ?* W9 B5 ?

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

3 f+ y% {( ]9 d4 L3 n m4 ?

顆粒顯微分析六

& m4 a( v; ?6 T I' Y( p6 n

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

! j8 ~( R8 d7 l" X! H

顆粒顯微分析七

0 u9 t. d5 o) i3 n

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

]- s, k$ l" Y/ _! y

 

' H% j% `; e) m, V4 L8 O( C

      

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2#
 樓主| 發表于 2007-3-16 20:10:58 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

補充:3 }8 z+ v% C  r- g
這是完全由中國人研發並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料
' s+ N, x* k; B6 _3 {* j0 L0 {日本人做到2吋!!中國人做到4吋
* a) E- s9 p( r' {) G- A/ l圖一是鑽石膜晶片拋光品質
. C) u. e5 M% @* N圖二是拋光與未拋光之比較3 \5 Z  j# C6 i. i
圖三至圖七是電子顯微鏡照片
3#
發表于 2007-3-16 20:25:53 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

呵呵,希望中國的各行各業都能像這樣超過日本人~~~~
4#
 樓主| 發表于 2007-3-20 23:50:30 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

為啥沒人頂??不懂材料特性??9 _" i3 P) m) V) G* f3 p
我再補充一下!!!& d/ N6 i. f  Y+ \* p
鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,熱傳導率1300~2100W/mK(銅397),比熱1.81J/cm3K(銅3.4),熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)8 p& m. G0 U5 z2 N$ S. K: o' S
其散熱及不沾粘性是世界公認
0 y0 |% ]! v+ Y0 v0 u在電子應用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片
$ C; Q6 M* }0 c. a) V8 ]5 s在機械行業可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料# a$ A5 k7 P& [9 S* ^
我的QQ是4731374047 W( ]7 U! O  [5 u5 B# I1 Y+ ]7 E
歡迎大家一起討論
5#
發表于 2007-3-21 09:40:11 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

不懂不懂,請教:這種鉆石薄膜是柔性的嗎?可以做密封件嗎?可以成型嗎?是否有買?價格是否很貴?謝謝。
6#
 樓主| 發表于 2007-3-21 13:17:02 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

原帖由 滴水天 發表' L! x, d! `: F0 ]1 E( J 不懂不懂,請教:這種鉆石薄膜是柔性的嗎?可以做密封件嗎?可以成型嗎?是否有買?價格是否很貴?謝謝。

9 k* k! K8 G3 B, l% o) A3 z- X$ ~$ I

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼,可替代所有超硬材料,現規格是四吋

m5 O( y7 k2 o

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

+ | a, b- U& e% @! ~9 |5 B& Q

QQ: 473137404

7#
發表于 2007-3-21 14:31:38 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

想了解下:使用什么設備(哪國的)來制造的?
8#
 樓主| 發表于 2007-3-21 15:06:55 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

中國人自行開發的CVD設備

9#
發表于 2007-3-21 15:22:17 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

只知VCD,CVD?液晶面板。。。?
10#
 樓主| 發表于 2007-3-21 15:39:24 | 只看該作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

fficeffice" />化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition縮寫 CVD)

, V, e& V* H2 }6 b7 I, Z2 Z

ffice:word" />化學氣相沉積是製造微電子元件時,被用來沉積出特定薄膜(film)的技術,所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導體、或半導體。

+ P A- ^: t M* r& B: h7 \+ M

 

1 U* D" I4 Q. h( H8 F. \

 

& `6 s+ w3 | O

 

/ t; J3 D2 l$ ?8 N

物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition縮寫 PVD)

* ]8 X* Z; ~" c- \

物理氣相沉積應用方式與化學氣相沉積相似,主要有三種製程:蒸鍍(Evaporation Deposition)、離子鍍(Ion Plating)、濺鍍(Sputtering Deposition)及衍生性濺鍍。

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