定位精度0.1μm以內的運動機構

原始人的錘子

beta_ling 發表于 2023-10-17 23:18
這么高價值的設備, 可以上氣浮平臺, 宏運動+微運動+激光干涉測距, 控制好振動, 100nm沒問題. 參考光刻機 ...

振動這塊該怎么入手？現在知道一些配件可以抑振。但是不知道效果能否達到目標值。

喂我袋鹽

原始人的錘子 發表于 2023-10-17 19:07
單機臺設備售價接近一千萬。成本目前評估能夠覆蓋。

1000萬，可以上頂級了。

LatersM

原始人的錘子 發表于 2023-10-18 17:39
請教下，現在有激光干涉儀，但是用在組裝和測試時候。這玩意還能在線工作？

原理一樣，用途不一樣，你說那種是用來調機的。
也有專門檢測軸位置，就跟光柵尺一樣，反饋當前位置給控制系統。

原始人的錘子

LatersM 發表于 2023-10-18 19:39
原理一樣，用途不一樣，你說那種是用來調機的。
也有專門檢測軸位置，就跟光柵尺一樣，反饋當前位置給控 ...

請教下下，對減振避振，要怎么下手。現在我完全憑經驗。

周經理

造芯片用嗎

beta_ling

原始人的錘子 發表于 2023-10-18 17:41
振動這塊該怎么入手？現在知道一些配件可以抑振。但是不知道效果能否達到目標值。

首先, 廠房修建做好地基隔離減振措施, 其次設備底座可以增加主動減振裝置, 然后設備本身移動部件均使用平衡塊穩定質心, 最后機架均使用灰口鑄鐵等減振阻尼材料制作. 廠房環境溫度要控制在22℃±1℃, 機器內部控制在22℃±0.1℃

jijie2012

yioa

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