定位精度0.1μm以內(nèi)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)

原始人的錘子

1.想請(qǐng)教下有沒有了解氣浮導(dǎo)軌的？氣浮導(dǎo)軌都是自行設(shè)計(jì)制作沒有單賣的嗎？
2.想學(xué)習(xí)下激光切割這類，有沒有書籍推薦下？
3.抗振這塊的設(shè)計(jì)，要怎么下手？現(xiàn)在我純粹靠經(jīng)驗(yàn)，心理沒底。

duduxiaozi32

氣浮導(dǎo)軌有賣現(xiàn)成的，但是定位精度在0.1μm的看你要多長(zhǎng)的導(dǎo)軌，一般國(guó)內(nèi)很難達(dá)到，能到0.2μm/200mm就不錯(cuò)了。

hitiger

|duduxiaozi32發(fā)表于 10-17 12:08氣浮導(dǎo)軌有賣現(xiàn)成的，但是定位精度在0.1μm的看你要多長(zhǎng)的導(dǎo)軌，一般國(guó)內(nèi)很難達(dá)到，能到0.2μm/200mm就不錯(cuò)了。

請(qǐng)問氣浮導(dǎo)軌是什么？淘寶沒收到。

duduxiaozi32

hitiger 發(fā)表于 2023-10-17 12:13
請(qǐng)問氣浮導(dǎo)軌是什么？淘寶沒收到。

淘寶估計(jì)不賣這個(gè)，比較貴，用于超精密加工行業(yè)。靜壓導(dǎo)軌可以搜搜，別淘寶搜

東海fyh126

嚇尿了，，，0.幾μm。。。。。

落淚小丑

大佬從事什么工作?。坑玫竭@樣的精度。

ytzhanggj007

就算這個(gè)導(dǎo)軌是磁懸浮的，丁點(diǎn)阻力也沒有，這個(gè)精度也不是由導(dǎo)軌決定的，而是看驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的精度。不知道你這什么用途，光刻機(jī)？

Dreaming___snai

直線電機(jī)+光柵尺可能會(huì)達(dá)到這個(gè)精度

jumbone

人比人得死，貨比貨得扔啊，1μ的精度我都不會(huì)搞，你們都開始搞0.1μ了；

養(yǎng)豬東籬下

0.1微米，用什么設(shè)備檢測(cè)？