定位精度0.1μm以內的運動機構

原始人的錘子

1.想請教下有沒有了解氣浮導軌的？氣浮導軌都是自行設計制作沒有單賣的嗎？
2.想學習下激光切割這類，有沒有書籍推薦下？
3.抗振這塊的設計，要怎么下手？現在我純粹靠經驗，心理沒底。

duduxiaozi32

氣浮導軌有賣現成的，但是定位精度在0.1μm的看你要多長的導軌，一般國內很難達到，能到0.2μm/200mm就不錯了。

hitiger

|duduxiaozi32發表于 10-17 12:08氣浮導軌有賣現成的，但是定位精度在0.1μm的看你要多長的導軌，一般國內很難達到，能到0.2μm/200mm就不錯了。

請問氣浮導軌是什么？淘寶沒收到。

duduxiaozi32

hitiger 發表于 2023-10-17 12:13
請問氣浮導軌是什么？淘寶沒收到。

淘寶估計不賣這個，比較貴，用于超精密加工行業。靜壓導軌可以搜搜，別淘寶搜

東海fyh126

嚇尿了，，，0.幾μm。。。。。

落淚小丑

大佬從事什么工作啊？用到這樣的精度。

ytzhanggj007

就算這個導軌是磁懸浮的，丁點阻力也沒有，這個精度也不是由導軌決定的，而是看驅動機構的精度。不知道你這什么用途，光刻機？

Dreaming___snai

直線電機+光柵尺可能會達到這個精度

jumbone

人比人得死，貨比貨得扔啊，1μ的精度我都不會搞，你們都開始搞0.1μ了；

養豬東籬下

0.1微米，用什么設備檢測？