定位精度0.1μm以內(nèi)的運(yùn)動機(jī)構(gòu)

原始人的錘子

尹志春 發(fā)表于 2023-10-17 16:52
不說做，你能測量出直徑300的圓的，真圓度嗎，不說加工，深圳所有的加工廠，有一家算一家，哪家有能力測 ...

老師，請教下。你們直線電機(jī)和驅(qū)動器，還有光柵用什么品牌？
另外您在定位0.1微米以上的精度，電機(jī)整定時(shí)間能做到多少？

2902007034

hitiger 發(fā)表于 2023-10-17 12:13
請問氣浮導(dǎo)軌是什么？淘寶沒收到。

氣浮導(dǎo)軌精度很高的，導(dǎo)軌上面好像是微小的氣孔，這一套xy軸氣浮臺，估計(jì)成品大概在20w-30w左右國產(chǎn)

喂我袋鹽

ytzhanggj007 發(fā)表于 2023-10-17 14:08
就算這個導(dǎo)軌是磁懸浮的，丁點(diǎn)阻力也沒有，這個精度也不是由導(dǎo)軌決定的，而是看驅(qū)動機(jī)構(gòu)的精度。不知道你這 ...

先問lz預(yù)算。

原始人的錘子

2902007034 發(fā)表于 2023-10-17 17:37
氣浮導(dǎo)軌精度很高的，導(dǎo)軌上面好像是微小的氣孔，這一套xy軸氣浮臺，估計(jì)成品大概在20w-30w左右國產(chǎn)

國產(chǎn)有沒有推薦品牌？

原始人的錘子

喂我袋鹽 發(fā)表于 2023-10-17 17:40
先問lz預(yù)算。

單機(jī)臺設(shè)備售價(jià)接近一千萬。成本目前評估能夠覆蓋。

beta_ling

原始人的錘子 發(fā)表于 2023-10-17 19:07
單機(jī)臺設(shè)備售價(jià)接近一千萬。成本目前評估能夠覆蓋。

這么高價(jià)值的設(shè)備, 可以上氣浮平臺, 宏運(yùn)動+微運(yùn)動+激光干涉測距, 控制好振動, 100nm沒問題. 參考光刻機(jī)結(jié)構(gòu)

mhfx2020

原始人的錘子 發(fā)表于 2023-10-17 17:19
500㎜

蘇大維格，可以問問

2902007034

原始人的錘子 發(fā)表于 2023-10-17 19:06
國產(chǎn)有沒有推薦品牌？

地心科技，用著還可以

Dreaming___snai

尹志春 發(fā)表于 2023-10-17 16:26
直線電機(jī)有精度？光柵你能買到精度高于0.02的？

上家公司做過三坐標(biāo)，直線電機(jī)+光柵尺+氣浮導(dǎo)軌還得配軟件參數(shù)補(bǔ)償，是可以達(dá)到微米級的，不過對環(huán)境要求特別高，包括振動噪聲以及溫濕度

原始人的錘子

beta_ling 發(fā)表于 2023-10-17 23:18
這么高價(jià)值的設(shè)備, 可以上氣浮平臺, 宏運(yùn)動+微運(yùn)動+激光干涉測距, 控制好振動, 100nm沒問題. 參考光刻機(jī) ...

請教下，現(xiàn)在有激光干涉儀，但是用在組裝和測試時(shí)候。這玩意還能在線工作？