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超精密加工

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1#
發(fā)表于 2017-10-10 09:43:00 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
本帖最后由 camvinh 于 2017-10-10 09:44 編輯 ( M0 n; H/ ^: c/ T

6 D7 Y0 t6 |( Z1 s5 M% Z' r我們研究室做超精密加工研究,機(jī)床加工精度達(dá)到1μm以下,表面粗糙度5-10nm,一刀就出鏡面。有興趣的朋友,可以交流交流。: z5 [; [4 v5 H4 t( o

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2#
發(fā)表于 2017-10-10 09:53:38 | 只看該作者
清華? 牛掰
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3#
發(fā)表于 2017-10-10 10:01:07 | 只看該作者
用的什么刀具?
7 t! t1 Y3 }5 R粗糙度和精度可以代替磨削嗎?
9 H+ I5 j7 p% A' G最長(zhǎng)試驗(yàn)工件是多少?, R9 [, D" M7 ^5 A1 g7 N% J

點(diǎn)評(píng)

刀具估計(jì)只能PVD或者鉆石之類吧  發(fā)表于 2017-10-10 18:22
4#
 樓主| 發(fā)表于 2017-10-10 10:02:54 | 只看該作者
leyfa7@126.com 發(fā)表于 2017-10-10 10:015 y- Z! R7 @1 p1 q- S
用的什么刀具?; `7 r% L* M9 D% e5 y  R1 l
粗糙度和精度可以代替磨削嗎?  ]( a4 ~5 }% m0 [% T/ s/ i) P
最長(zhǎng)試驗(yàn)工件是多少?

: T5 p+ [3 H) ]* u用天然金剛石刀具,粗糙度能達(dá)到5-10nm,精度<1μm
: c$ [$ S/ ^) P8 P

點(diǎn)評(píng)

在研究所見(jiàn)過(guò),銅和鋁的鏡面加工,單點(diǎn)金剛石立車  發(fā)表于 2017-10-11 12:39
牛牛! PCD,PVD試過(guò)能達(dá)到什么水平?  詳情 回復(fù) 發(fā)表于 2017-10-10 21:16
5#
發(fā)表于 2017-10-10 10:04:46 | 只看該作者
大理石床身,看起來(lái)高端啊。
6#
 樓主| 發(fā)表于 2017-10-10 10:04:59 | 只看該作者
leyfa7@126.com 發(fā)表于 2017-10-10 10:01
7 h+ L  c7 d0 k1 K4 @- m4 F用的什么刀具?
* f" [/ x5 G, d+ C9 r9 `) S, f1 T, Q粗糙度和精度可以代替磨削嗎?
- A7 o# C: J/ |4 ^+ F4 E# }最長(zhǎng)試驗(yàn)工件是多少?
* G: k& x! G5 t) T2 R+ x: Z0 u
最長(zhǎng)150mm
7#
發(fā)表于 2017-10-10 10:08:08 | 只看該作者
千島2000轉(zhuǎn)手動(dòng)卡盤?
8#
 樓主| 發(fā)表于 2017-10-10 10:12:51 | 只看該作者
喀秋莎88 發(fā)表于 2017-10-10 10:08
5 d/ O) Q- {: {千島2000轉(zhuǎn)手動(dòng)卡盤?

# C( N8 d# b2 w' I是的
9#
發(fā)表于 2017-10-10 10:14:33 | 只看該作者
看著很牛啊
10#
發(fā)表于 2017-10-10 10:15:54 | 只看該作者
超精密切削加工
# Y% Q( K: e+ P2 P$ J  p! [主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用經(jīng)過(guò)精細(xì)研磨的單晶金剛石車刀進(jìn)行微量車削,切削厚度僅1微米左右,常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、表面高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡,最高精度可達(dá)0.1微米,表面粗糙度為Rz0.05微米。& b2 N  ^1 E$ W. L+ i& h- K
超精密特種加工* W5 N; o8 N5 Y% P0 v! |
加工精度以納米,甚至最終以原子單位(原子晶格距離為0.1~0.2納米)為目標(biāo)時(shí),切削加工方法已不能適應(yīng),需要借助特種加工的方法,即應(yīng)用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等,使這些能量超越原子間的結(jié)合能,從而去除工件表面的部分原子間的附著、結(jié)合或晶格變形,以達(dá)到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機(jī)械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。這些方法的特點(diǎn)是對(duì)表面層物質(zhì)去除或添加的量可以作極細(xì)微的控制。但是要獲得超精密的加工精度,仍有賴于精密的加工設(shè)備和精確的控制系統(tǒng),并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對(duì)掩膜上的光致抗蝕劑(見(jiàn)光刻)進(jìn)行曝射,使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),再用顯影劑把聚合過(guò)的或未聚合過(guò)的部分溶解掉,制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺(tái)定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備。

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