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國(guó)產(chǎn)6“半導(dǎo)體設(shè)備

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1#
發(fā)表于 2008-3-19 08:48:10 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司PECVD事業(yè)部,由美國(guó)硅谷多年從事半導(dǎo)體沉積設(shè)備制造的高技術(shù)人才團(tuán)隊(duì)歸國(guó)組建,團(tuán)隊(duì)致力于技術(shù)研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)營(yíng),以客戶需求為導(dǎo)向,為客戶提供最為完善、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。
CC1等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)獲美國(guó) NOVELLUS(諾發(fā))Concept One(C1)授權(quán),全部引進(jìn)其生產(chǎn)技術(shù)及工藝,具有成熟的二氧化硅、氮化硅、氮氧硅等鍍膜工藝,可廣泛應(yīng)用于4寸、5寸、6寸半導(dǎo)體晶圓代工生產(chǎn)線及半導(dǎo)體集成電路與分立器件生產(chǎn)線。
更新設(shè)計(jì)的自動(dòng)化控制系統(tǒng),采用了 Device Net 現(xiàn)場(chǎng)總線通訊技術(shù);控制程序基于 Windows 2000平臺(tái)設(shè)計(jì),程序界面更友好,工藝操作更便捷,提高了控制系統(tǒng)效率。此外設(shè)備還提供基于SEMI通訊協(xié)議的工業(yè)以太網(wǎng)接口,使得遠(yuǎn)程監(jiān)控和生產(chǎn)線設(shè)備調(diào)度管理更方便。
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2#
發(fā)表于 2008-3-23 13:29:41 | 只看該作者

回復(fù) 1# 的帖子

奇怪,這個(gè)帖子怎么會(huì)在CAD版塊里面?
斑竹??
3#
發(fā)表于 2008-3-24 22:03:37 | 只看該作者
哈哈,現(xiàn)在12‘’的廠子到處開(kāi)花哦~~~
這是否預(yù)示著中國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)起步了呢

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