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一個位置移動數顯控制系統(tǒng)，要求5um。求大俠指正。

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1#
發(fā)表于 2015-4-22 11:55:45 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
我想設計個方案：直線位移精度5um。用光柵尺顯示讀數，并通過PLC發(fā)指令給伺服電機。不知道該套能不能達到約期效果。如下圖所示：
1 h' D1 d  x- L3 `" _

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