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一種硅片傳輸機械手

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1#
發表于 2013-5-30 20:28:49 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
種應用于半導體設備上的硅片傳輸機械手

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2#
發表于 2013-5-30 22:13:17 | 只看該作者
看的不是很清楚，半導體行業真空用的很普遍，現在最牛逼的已經是讓硅片懸浮移動。
3#
發表于 2013-5-30 22:16:00 | 只看該作者
是用的非接觸吸盤來吸取硅片的吧。

點評

我賣SMC產品很多年，對產品性能很熟悉，現在慢慢轉向非標設備方面了。此吸盤有好幾個品牌都有產品。  發表于 2013-5-31 10:31
大俠厲害，我前不久SMC推廣會時，才知道非接觸洗盤，真的很先進  發表于 2013-5-31 07:22

評分

參與人數 1威望 +1 收起 理由
yinzengguang + 1 熱心助人，專業精湛!

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4#
發表于 2013-5-30 22:42:44 | 只看該作者
gaolaodajiayou 發表于 2013-5-30 22:13 & j3 p: l- o5 M3 K( u
看的不是很清楚，半導體行業真空用的很普遍，現在最牛逼的已經是讓硅片懸浮移動。

4 i2 [0 a( J# U; |) p  |9 q0 H# A! g斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？: u: _7 x& U! N+ k6 H& l3 o
5#
發表于 2013-5-31 07:14:30 | 只看該作者
WAST1989 發表于 2013-5-30 22:42 . c! e3 z4 T0 t
斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？
4 `: H/ w, t8 M* p! E" G* \" Q8 ^
用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制 前、后、左、右懸浮飄移
% a* a3 |8 f0 N& L7 p4 @# `

點評

貌似有點印象  發表于 2013-5-31 08:47
6#
發表于 2013-5-31 21:20:48 | 只看該作者
看看
7#
發表于 2015-6-17 22:49:36 | 只看該作者
感覺稍顯笨重。。。
8#
發表于 2016-7-19 16:59:35 | 只看該作者
xmdesign 發表于 2013-5-31 07:14
8 b6 P8 j: o0 B用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制 前、后、左、右懸浮飄移+ v4 ~$ }0 j# H
...
, E" ^, ~: V( J: w: v# j, r
展會上見過磁懸浮傳動的" k+ Z; t" l) P
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