一種硅片傳輸機械手

丹楓911 · 發表于 2013-5-30 20:28:49

種應用于半導體設備上的硅片傳輸機械手

gaolaodajiayou · 發表于 2013-5-30 22:13:17

看的不是很清楚，半導體行業真空用的很普遍，現在最牛逼的已經是讓硅片懸浮移動。

長江漂流 · 發表于 2013-5-30 22:16:00

是用的非接觸吸盤來吸取硅片的吧。

WAST1989 · 發表于 2013-5-30 22:42:44

gaolaodajiayou 發表于 2013-5-30 22:13 1 Q, \2 c1 Q7 h
看的不是很清楚，半導體行業真空用的很普遍，現在最牛逼的已經是讓硅片懸浮移動。

斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？

xmdesign · 發表于 2013-5-31 07:14:30

WAST1989 發表于 2013-5-30 22:42
X2 g$ S% n5 L+ B5 E: E斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？

用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制前、后、左、右懸浮飄移

931673326 · 發表于 2013-5-31 21:20:48

看看

天氣 · 發表于 2015-6-17 22:49:36

感覺稍顯笨重。。。

bitter007 · 發表于 2016-7-19 16:59:35

xmdesign 發表于 2013-5-31 07:143 {) c7 v+ m9 D, H3 V+ \
用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制前、后、左、右懸浮飄移. `0 e0 ?. \% |+ i
...

展會上見過磁懸浮傳動的

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