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一種硅片傳輸機械手

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1#
發表于 2013-5-30 20:28:49 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
種應用于半導體設備上的硅片傳輸機械手

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2#
發表于 2013-5-30 22:13:17 | 只看該作者
看的不是很清楚，半導體行業真空用的很普遍，現在最牛逼的已經是讓硅片懸浮移動。
3#
發表于 2013-5-30 22:16:00 | 只看該作者
是用的非接觸吸盤來吸取硅片的吧。

點評

我賣SMC產品很多年，對產品性能很熟悉，現在慢慢轉向非標設備方面了。此吸盤有好幾個品牌都有產品。  發表于 2013-5-31 10:31
大俠厲害，我前不久SMC推廣會時，才知道非接觸洗盤，真的很先進  發表于 2013-5-31 07:22

評分

參與人數 1威望 +1 收起 理由
yinzengguang + 1 熱心助人，專業精湛!

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4#
發表于 2013-5-30 22:42:44 | 只看該作者
gaolaodajiayou 發表于 2013-5-30 22:13 5 j4 X3 d; z9 a
看的不是很清楚，半導體行業真空用的很普遍，現在最牛逼的已經是讓硅片懸浮移動。

; e1 M5 k3 C& I! p) T0 x+ p7 j斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？
7 _% T9 d$ r& o! ~( ~
5#
發表于 2013-5-31 07:14:30 | 只看該作者
WAST1989 發表于 2013-5-30 22:42 + Q$ ?" e! ]. j2 C9 d. `1 \
斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？
# J4 R# w" U) P; ]
用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制 前、后、左、右懸浮飄移
/ }( g, u1 G' F; T- I) N* y

點評

貌似有點印象  發表于 2013-5-31 08:47
6#
發表于 2013-5-31 21:20:48 | 只看該作者
看看
7#
發表于 2015-6-17 22:49:36 | 只看該作者
感覺稍顯笨重。。。
8#
發表于 2016-7-19 16:59:35 | 只看該作者
xmdesign 發表于 2013-5-31 07:14/ l' C/ T' P0 s! R( q
用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制 前、后、左、右懸浮飄移
" ]* I, v& L; ] ...

) x8 M' [0 f7 c- j. N展會上見過磁懸浮傳動的* _7 A3 O4 c- W& t4 v( N
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