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一種硅片傳輸機械手

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1#
發表于 2013-5-30 20:28:49 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
種應用于半導體設備上的硅片傳輸機械手

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2#
發表于 2013-5-30 22:13:17 | 只看該作者
看的不是很清楚，半導體行業真空用的很普遍，現在最牛逼的已經是讓硅片懸浮移動。
3#
發表于 2013-5-30 22:16:00 | 只看該作者
是用的非接觸吸盤來吸取硅片的吧。

點評

我賣SMC產品很多年，對產品性能很熟悉，現在慢慢轉向非標設備方面了。此吸盤有好幾個品牌都有產品。  發表于 2013-5-31 10:31
大俠厲害，我前不久SMC推廣會時，才知道非接觸洗盤，真的很先進  發表于 2013-5-31 07:22

評分

參與人數 1威望 +1 收起 理由
yinzengguang + 1 熱心助人，專業精湛!

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4#
發表于 2013-5-30 22:42:44 | 只看該作者
gaolaodajiayou 發表于 2013-5-30 22:13
6 Z! a$ `5 `3 f看的不是很清楚，半導體行業真空用的很普遍，現在最牛逼的已經是讓硅片懸浮移動。

2 o0 {" u" j- I* X- i% F8 h, M# v斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？
) \* B; w4 r3 ~1 J, O
5#
發表于 2013-5-31 07:14:30 | 只看該作者
WAST1989 發表于 2013-5-30 22:42 ; S- C4 s4 u# p7 v; ~4 q; r
斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？
0 C- B6 a! A! b! z/ W
用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制 前、后、左、右懸浮飄移: x* {5 }" O  z! _1 I

點評

貌似有點印象  發表于 2013-5-31 08:47
6#
發表于 2013-5-31 21:20:48 | 只看該作者
看看
7#
發表于 2015-6-17 22:49:36 | 只看該作者
感覺稍顯笨重。。。
8#
發表于 2016-7-19 16:59:35 | 只看該作者
xmdesign 發表于 2013-5-31 07:14) x* S3 z& r% f4 @# u4 y# s
用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制 前、后、左、右懸浮飄移/ c. R3 m9 p5 T$ {: n5 ]1 b# \
...
. B- s7 t: N! t' D* L
展會上見過磁懸浮傳動的* a2 d3 ?! _$ R& x
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