了解靶材的朋友進來聊聊把

jayrain · 發表于 2012-9-13 18:23:33

不知發這里合適不咯，對這一塊確實是小白，和朋友聊他說國內的靶材不行。請了解靶材的朋友隨便聊聊，行業情況、制造工藝、造好靶材的難度在哪里？

changkongceyi · 發表于 2012-9-25 09:13:40

靶材的雜質元素不好控制....

jayrain · 發表于 2012-9-25 20:52:26

changkongceyi 發表于 2012-9-25 09:13 7 x" o5 M- L% s3 e- Z7 G$ r) P$ Q
靶材的雜質元素不好控制....

這個有所聽說，象雜質元素，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不

changkongceyi · 發表于 2012-9-26 08:19:03

jayrain 發表于 2012-9-25 20:52 ( K$ {# T# k1 A B! {) ^9 J( h5 S
這個有所聽說，象雜質元素，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不

肯定會有影響，靶材氣孔內氣體參與濺射，那鍍制的膜就有化合物成分，跟要求濺射的膜成分不一樣，與基材的附著力也就有區別了，純度肯定也就降下來了

jayrain · 發表于 2012-9-26 11:03:48

changkongceyi 發表于 2012-9-26 08:19 & Q% f/ L& e- `! ~" U
肯定會有影響，靶材氣孔內氣體參與濺射，那鍍制的膜就有化合物成分，跟要求濺射的膜成分不一樣，與基材的 ...

前輩做哪塊的？對靶材制造工藝這塊有沒有合適的書籍或手冊，或者掃盲性質的也行。我現在對這個只有個大概粗略輪廓。

changkongceyi · 發表于 2012-9-26 16:03:54

{:soso_e127:}不敢當，我接觸磁控濺射沒多久，靶材說白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬），純度其實就是冶煉跟加工過程中雜質元素的控制，個人理論書籍看看材料的就行，可以在社區材料論壇多晃蕩晃蕩，他們才是真的前輩跟高手

jayrain · 發表于 2012-9-27 08:55:23

changkongceyi 發表于 2012-9-26 16:03
( X0 g& }( X$ G+ @6 {. G不敢當，我接觸磁控濺射沒多久，靶材說白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬），純度其實就是冶 ...

嗯，謝謝了。得看看。沒搞過材料，感覺水還蠻深納。

changkongceyi · 發表于 2012-9-27 09:47:54

jayrain 發表于 2012-9-27 08:55 2 s1 c' e& @% k$ f- R) y
嗯，謝謝了。得看看。沒搞過材料，感覺水還蠻深納。

呵呵，那就從鐵碳合金開始吧，看完這個就知道鐵靶的雜質元素、金相組織；然后就可以進一步思考：如何從工藝上提高靶材的純度（影響因素會很多，想想就明白為啥國產靶材不如進口的了,這當然也是整個國產材料的現狀....)

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