了解靶材的朋友進來聊聊把

jayrain

不知發這里合適不咯，對這一塊確實是小白，和朋友聊他說國內的靶材不行。請了解靶材的朋友隨便聊聊，行業情況、制造工藝、造好靶材的難度在哪里？

changkongceyi

靶材的雜質元素不好控制....

jayrain

changkongceyi 發表于 2012-9-25 09:13
靶材的雜質元素不好控制....

這個 有所聽說，象雜質元素，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不

changkongceyi

jayrain 發表于 2012-9-25 20:52
這個 有所聽說，象雜質元素，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不

肯定會有影響，靶材氣孔內氣體參與濺射，那鍍制的膜就有化合物成分，跟要求濺射的膜成分不一樣，與基材的附著力也就有區別了，純度肯定也就降下來了

jayrain

changkongceyi 發表于 2012-9-26 08:19
6 a* ]$ \1 \5 H+ J肯定會有影響，靶材氣孔內氣體參與濺射，那鍍制的膜就有化合物成分，跟要求濺射的膜成分不一樣，與基材的 ...

; C1 s0 W3 \2 ~6 s' H1 O前輩做哪塊的？對靶材制造工藝這塊有沒有合適的書籍或手冊，或者掃盲性質的也行。我現在對這個只有個大概粗略輪廓。

changkongceyi

{:soso_e127:}不敢當，我接觸磁控濺射沒多久，靶材說白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬），純度其實就是冶煉跟加工過程中雜質元素的控制，個人理論書籍看看材料的就行，可以在社區材料論壇多晃蕩晃蕩，他們才是真的前輩跟高手

jayrain

changkongceyi 發表于 2012-9-26 16:03
9 R. _( t# i0 y' Y- x不敢當，我接觸磁控濺射沒多久，靶材說白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬），純度其實就是冶 ...

3 U) V: R% i+ P* ~嗯，謝謝了。得看看。沒搞過材料，感覺水還蠻深納。

changkongceyi

jayrain 發表于 2012-9-27 08:55
嗯，謝謝了。得看看。沒搞過材料，感覺水還蠻深納。

, I0 t8 U2 k4 s- P. \呵呵，那就從鐵碳合金開始吧，看完這個就知道鐵靶的雜質元素、金相組織；然后就可以進一步思考：如何從工藝上提高靶材的純度（影響因素會很多，想想就明白為啥國產靶材不如進口的了,這當然也是整個國產材料的現狀....)