Mahr和Zygo表面粗糙度，探索結(jié)果相差巨大！

cyjsdhr

我用便攜式Mahr輪廓儀測得的表面粗糙度和用Zygo 7100 Series 測得的表面粗粗度差的非常多（用的Ra-附件里打錯了）。 初步分析了一下Zygo實測的一指定面積上的粗糙度，Mahr是測的一條直線上的粗糙度。不過有細(xì)微差別是可以接受的，現(xiàn)在差的非常大（附件）~
* I; F/ W! `: c2 a: c9 ~! U" H* b會不會是因為Mahr輪廓儀的截至長度的影響？
PS Mahr剛剛矯正過，沒問題~
; c$ v: f' e  c  H. w0 I
請教高手原因~
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; H! H1 Z: ~8 h, s2 j3 g2 @

紅動中國wu

頂起來，樓主明白了嗎

JXTTTTT

我又來賺威望啦！！

紅動中國wu

/ t, E9 D) X. h* s我又來賺威望啦！！

李工業(yè)

儀器不準(zhǔn)吧

阿普利亞

ZYGO也可以拉取線上的粗糙度的吧