淺聊下激光干涉儀測量協(xié)作機(jī)器人DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)精度

中圖儀器1

標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)作機(jī)器人關(guān)節(jié)模組由角度編碼器、直驅(qū)電機(jī)(DD馬達(dá))、驅(qū)動器、諧波減速機(jī)、剎車、扭矩傳感器等元器件組成，DD馬達(dá)摒棄了傳統(tǒng)減速機(jī)構(gòu)，將負(fù)載與電機(jī)轉(zhuǎn)子直接耦合，成就了協(xié)作機(jī)器人流暢的關(guān)節(jié)運(yùn)動。但這一革命性設(shè)計也帶來了嚴(yán)苛的精度挑戰(zhàn)：任何微小的角度偏差都被直接放大為末端執(zhí)行器的軌跡誤差！

當(dāng)協(xié)作機(jī)器人需要執(zhí)行微米級的精密任務(wù)時，如何確保其核心動力單元DD馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)精度達(dá)到角秒級？答案藏在一束激光的干涉條紋之中。
: |' h$ k9 t  D6 F! E. g解決方案：SJ6000激光干涉儀+角度反射鏡組+WR50自動精密轉(zhuǎn)臺，測量精度：±1″；分辨力：0.01″。

3 V/ q) K  y" pDD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)角度測量示意圖
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測量流程：
1 x9 K+ H8 p1 q% o' x* P0 \$ E將WR50自動精密轉(zhuǎn)臺固定在馬達(dá)軸心，其頂部反設(shè)鏡可相對基座反向旋轉(zhuǎn)，反射鏡始終與激光束角度鎖定在0.5度內(nèi)，轉(zhuǎn)臺每旋轉(zhuǎn)5°，反射鏡即反向旋轉(zhuǎn)5°，此時軟件將WR50的精密圓光柵角度值和SJ6000的角度值進(jìn)行合并計算，得出馬達(dá)實(shí)際轉(zhuǎn)動的角度。
  J# G6 U2 d! ~; c. d
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5 E4 F' u1 n( A  ^. T/ b& @激光干涉儀測量結(jié)束后自動進(jìn)行補(bǔ)償，確保DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)精度符合要求。
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補(bǔ)償前數(shù)據(jù)
- b) L& f# ]5 S; w

補(bǔ)償后數(shù)據(jù)
3 \, @( s9 i' G7 L從汽車工廠的裝配線到無塵室里的芯片制造，協(xié)作機(jī)器人正以人類般的靈巧重塑產(chǎn)業(yè)。而在這背后，是以激光干涉儀為代表的精密測量儀器的默默守護(hù)，為協(xié)作機(jī)器人的安全高效精準(zhǔn)運(yùn)行保駕護(hù)航。

走江湖

雷尼紹XR20

lanyuedao

看起來是用于每臺機(jī)器人最終標(biāo)定，確定補(bǔ)償值。
http://www.ytsybjq.com/thread-453514-1-1.html
  M- t2 y2 I: W6 J6 R$ |貼一篇舊貼。當(dāng)絕對精度不夠的時候，激光干涉儀能做什么事情？

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走江湖 發(fā)表于 2025-6-12 09:50
  g4 H! N. J; p1 s0 r雷尼紹XR20

雷尼紹不是這樣的
- c1 l/ \1 l8 q- t3 }/ f

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WR50自動精密轉(zhuǎn)臺,脫離激光干涉儀,獨(dú)立旋轉(zhuǎn),絕對定位精度和重復(fù)性可以達(dá)到多少