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發(fā)表于 2024-11-12 15:52:46
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菲科半導(dǎo)體(張家港)有限公司(PHT Robot Inc.):提供EFEM・Sorter等晶圓搬運(yùn)設(shè)備。4 h+ d5 ~3 @) G: b6 a; r1 v
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北方華創(chuàng):作為國(guó)內(nèi)的龍頭設(shè)備廠之一,北方華創(chuàng)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域有廣泛的業(yè)務(wù)拓展。# n2 |6 H) R2 q3 @" y8 R5 |7 U
% D% W% y% O! c4 F2 H, M8 k6 d. e中微公司:同樣是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)頭羊,中微公司在刻蝕設(shè)備和沉積設(shè)備方面有較強(qiáng)的實(shí)力。4 M- |) H$ r8 G6 ~& A% D/ b
, m2 Y! f+ v2 I) A: C: D0 `$ N盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司:以半導(dǎo)體清洗設(shè)備和先進(jìn)封裝濕法設(shè)備為核心,近年開(kāi)始進(jìn)軍沉積設(shè)備領(lǐng)域。' t% E* B, h. I! B y/ l
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威孚(蘇州)技術(shù)有限公司:提供尋邊器(Aligner),適用于直徑最小2時(shí)至最大12吋的晶圓、玻璃等。
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1 b6 r9 f# O# _6 F3 \: E北京納茲精密科技有限公司:提供氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)等產(chǎn)品。* A- q) y. a9 Q! I- D _
$ _8 r$ o# [: `1 f4 H# y A/ a: o+ l地心科技:提供氣浮系統(tǒng),包括氣浮轉(zhuǎn)臺(tái),氣浮軸承直線臺(tái),以及XY雙軸的平面氣浮產(chǎn)品等。
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上銀科技(中國(guó))有限公司:提供晶圓裝卸機(jī)Load Port HLP系列,可共享8吋與12吋產(chǎn)品加載載出。
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上海大族富創(chuàng)得科技股份有限公司:提供EFEM設(shè)備,包括圓裝載系統(tǒng)(Loadport)、晶圓運(yùn)輸機(jī)器人(Robot)和晶圓對(duì)準(zhǔn)器(Aligner)三大部件。
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蘇州矽格納科技有限公司:提供Wafer Aligner晶圓尋邊器、Wafer Transfer晶圓轉(zhuǎn)換器等產(chǎn)品。 |
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