菲科半導體(張家港)有限公司(PHT Robot Inc.):提供EFEM・Sorter等晶圓搬運設備。; P, m! l0 q# v& N, ]
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北方華創:作為國內的龍頭設備廠之一,北方華創在半導體設備領域有廣泛的業務拓展。
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中微公司:同樣是國內半導體設備領域的領頭羊,中微公司在刻蝕設備和沉積設備方面有較強的實力。
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* ]6 M- A/ G/ \/ ]盛美半導體設備(上海)股份有限公司:以半導體清洗設備和先進封裝濕法設備為核心,近年開始進軍沉積設備領域。
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威孚(蘇州)技術有限公司:提供尋邊器(Aligner),適用于直徑最小2時至最大12吋的晶圓、玻璃等。
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2 x6 z8 I& S4 L% y北京納茲精密科技有限公司:提供氣浮轉臺等產品。3 q* f# d- F/ N2 z
9 |0 s$ A( G# A+ U) d1 D; x地心科技:提供氣浮系統,包括氣浮轉臺,氣浮軸承直線臺,以及XY雙軸的平面氣浮產品等。
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上銀科技(中國)有限公司:提供晶圓裝卸機Load Port HLP系列,可共享8吋與12吋產品加載載出。% m, [/ Q5 [. d$ R( y
% k O' g! @' h上海大族富創得科技股份有限公司:提供EFEM設備,包括圓裝載系統(Loadport)、晶圓運輸機器人(Robot)和晶圓對準器(Aligner)三大部件。
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蘇州矽格納科技有限公司:提供Wafer Aligner晶圓尋邊器、Wafer Transfer晶圓轉換器等產品。 |