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真空腔體中活動軸的密封圈選擇

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1#
發表于 2023-11-10 11:40:14 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
最近接手個項目,一個真空腔體密封,氣缸連接活動軸,活動軸直線運動,需要保持真空密封性,密封圈采用哪種密封圈最好呢? 看之前其他工程師有用O型圈,有用泛塞圈的?
, _% ^9 H( u2 v+ J5 z+ r$ z6 q 最后圖片要怎么插入正文呀/ P- D, s4 `( R8 R: K

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2#
發表于 2023-11-10 12:29:43 | 只看該作者
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3#
發表于 2023-11-10 12:58:04 | 只看該作者
O型圈,泛塞圈, 活塞密封圈 (V形的反向安裝)  都可以使用,& R4 D) O, c. x2 Z
- v# S8 B7 O& `5 F3 S+ j' r9 }
主要靠慮頻率,速度,壽命: J/ X: R2 Z3 C  }1 L8 O( S3 t1 E/ M

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4#
發表于 2023-11-10 13:00:54 | 只看該作者
有油啊、水啊或者其他液體么,注意密封圈腐蝕
5#
發表于 2023-11-10 13:20:46 | 只看該作者
真空腔體用磁流體密封比較好,以前我們單晶爐、多晶爐高真空密封都用磁流體

點評

半導體行業真空設備確實是用磁流體密封  發表于 2023-11-10 15:40
有意思的磁流體密封  發表于 2023-11-10 14:13
6#
發表于 2023-11-10 13:30:13 | 只看該作者
0型圈安裝在活動軸上,滑動部分鏡面光潔度,用蓖麻油或是真空硅脂作為潤滑,定期更換o型圈
7#
發表于 2023-11-10 15:31:18 | 只看該作者
用軸用密封圈吧,這個可以咨詢廠家
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