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真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。
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# _2 k+ h0 s+ p9 ~真/空/泵/分/類
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真空泵是最主要的真空裝備、從產生真空原理上分為:容積式真空泵(如液環泵,螺桿泵,羅茨泵等);動量傳遞式真空泵(如分子泵:噴射真空泵:擴散泵均屬于此類);氣體捕集式真空泵(如鈦升華、鋯鋁合金吸氣泵、低溫泵濺射離子泵、熱蒸發鈦升華泵等) g( Y5 k. q) i6 q$ D( O0 }
$ N s1 W+ o7 p9 W按照國標:GB/T 3163-97《真空技術名詞術語》具體分類如下:
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1 p+ w! {. [/ C8 C! H9 C- ? 由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不可能適用于所有的工作壓力范圍,只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。) Z% L) E6 N) b3 A- x
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任何真空泵,在工作期間除了抽氣作用,總是伴隨著出現一些破壞抽氣的效應。例如,氣體被壓縮后要反擴散、分子被吸附后還會脫附等,這些現象稱為氣體的返流。只有在抽氣作用強于返流時,泵才能有效地工作。因此每種泵都有自己的有效運用壓力范圍及固有特點。設計、制造及運用各種真空泵都是以加強抽氣作用、抑制返流為目的的。
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常用真空泵的類型及其應用范圍
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