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根據(jù)DigiTimes報道，ASML試圖規(guī)避荷蘭新銷售許可禁令，面向中國市場推出特別版DUV光刻機(jī)。消息稱，如果該項目繼續(xù)推進(jìn)，中芯國際、華虹等中國半導(dǎo)體企業(yè)可以繼續(xù)使用荷蘭的設(shè)備生產(chǎn)28納米及更成熟工藝的芯片。
證券時報e公司報道，ASML向記者回應(yīng)稱：一直以來ASML都遵守所適用的法律條例，公司并沒有面向中國市場推出特別版的光刻機(jī)。 荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML6月30日發(fā)布公告稱，荷蘭政府30日公布了關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備出口管制的新規(guī)定。正如三月初宣布的那樣，新的出口管制重點關(guān)注先進(jìn)的芯片制造技術(shù)，包括最先進(jìn)的沉積和浸沒式光刻系統(tǒng)。
由于這些出口管制法規(guī)，ASML將需要向荷蘭政府申請其最先進(jìn)的浸潤式DUV光刻系統(tǒng)(TWINSCAN NXT:2000i及后續(xù)浸潤式系統(tǒng))的出口許可證。荷蘭政府將決定是否批準(zhǔn)或拒絕所需的出口許可證，并就任何適用的條件向該公司提供進(jìn)一步的細(xì)節(jié)。
ASML提醒，其EUV系統(tǒng)銷售已受到限制。其他ASML系統(tǒng)出貨不受荷蘭政府控制。ASML將繼續(xù)遵守適用的出口法規(guī)，包括荷蘭、歐盟和美國法規(guī)。 荷蘭新出口管制法規(guī)將于2023年9月1日生效。ASML可以在此日期之前開始提交出口許可證申請。荷蘭政府將根據(jù)具體情況批準(zhǔn)或拒絕這些申請。
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發(fā)表于 2023-7-7 09:11:56
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