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荷蘭出手!ASML DUV光刻機設備出口受限,今夏前實施

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1#
發表于 2023-3-14 09:54:49 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式


當地時間3月8日,荷蘭出手了,宣布計劃對半導體技術出口實施新的管制。


這一消息源于荷蘭外貿與發展合作大臣Liesje Schreinemacher致荷蘭議員的一封信,其中寫道:


“鑒于技術發展和地緣政治背景,政府得出結論,為了國家安全,有必要擴大對特定半導體制造設備的現有出口限制。”


信中還提到,荷蘭方面將建立國家出口管制清單,管制措施也將在今年夏天之前開始實施。


可以注意到,致信中并沒有直接點名ASML、光刻機和中國,但聯想到1月份美日荷三方于白宮會面商討出口限制一事,以及達成的那份沒有公布細節的協議,本次荷蘭出手的緣故顯而易見。


而就在之后接受媒體采訪時,Schreinemacher也表示,新禁令下還是有許多更低端的設備可以銷往中國,無需取得許可,包括制造汽車、冰箱、電話和風力發電機所需芯片的設備。


荷蘭宣告出手限制出口的第二天,光刻機龍頭ASML也做出了自己的回應。


“最先進”DUV設備受限

事實上,自2019年以來,ASML的EUV設備就被禁止出口中國大陸。這一次的焦點,在于DUV設備,其主要用于生產28nm及更成熟制程的芯片,通過多次曝光,也是可以實現7nm制程的。



在聲明中,ASML先是表明荷蘭政府的措施不會對公司2023年的財務產生重大影響。隨后稱,最新出口管制并不適用于所有的浸沒式光刻工具,而是僅適用于“最先進”工具。


至于“最先進”的具體定義,荷蘭政府方面尚沒有給出確切的消息。不過ASML給出了自己的解釋——關鍵的浸沒式系統,即TWINSCAN NXT:2000i和后續推出的浸沒式系統。


ASML官網顯示,其浸沒式DUV設備目前主要有3款產品,分別是TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:1980Di。其中依照ASML對“最先進”的理解,NXT:2050i和NXT:2000i將受到此次出口限制影響,NXT:1980Di則不受影響。



據悉,NXT:1980Di 的分辨率可以達到≤38nm,每小時可以生產275片晶圓,當前主要被用于45nm以下成熟制程的生產。


依據ASML在聲明中所言,主要關注成熟制程的客戶,使用不太先進的浸沒式光刻工具也能夠得到很好的服務。


技術限制步步緊逼

當前的光刻機市場,ASML與尼康、佳能一起拿下超過90%的市場份額。其中,ASML主要著眼于高端市場,也是全球唯一的EUV光刻機供應商,尼康和佳能則聚焦中低端市場。


自然而然的,這個被稱作“半導體工業皇冠上明珠”的領域,也被美國視作技術封鎖,尤其是芯片相關技術封鎖的重要一環。


事實上,自2018年來,美國就已經開始向荷蘭政府施壓,要求其撤銷ASML向中國出口EUV光刻機的許可。它也做到了,自2019年開始ASML EUV設備的銷售就受到了限制。


而現在,輪到了DUV設備。



今年1月份,外媒報道稱荷蘭首相Mark Rutte會見美國總統拜登時,雙方就ASML向中國銷售DUV設備可能實施的出口限制問題進行了討論,并于27日達成了一項協議。


直到現在,三方都沒有就這份協議進行公開或討論,但荷蘭此次宣布的出口限制,也讓外界對這份協議有了一番猜測。


值得注意的是,彼時在白宮與美國政府商討事宜的還有日本,后者在半導體材料和設備全球市場中同樣保持領先。有數據統計稱,日本企業在全球半導體設備市場的份額為35%,在全球半導體原材料市場的份額為52%。


就在荷蘭宣布計劃對半導體技術出口實施新管制之后不久,也有消息稱日本最快將于本周發布最新芯片設備出口政策。對比荷蘭此次的做法,預計日本也將在很大程度上遵循美國的腳步。針對中國的半導體技術限制正一步步增強。


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發表于 2023-3-14 11:01:31 | 只看該作者
國內現在有哪些公司在攻克高端光刻技術?華為在上海好像有個研究所。

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光刻膠比光刻機還難搞  發表于 2023-3-14 13:12
3#
發表于 2023-3-14 13:30:14 | 只看該作者
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4#
發表于 2023-3-14 13:37:08 | 只看該作者
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5#
發表于 2023-3-14 16:17:06 | 只看該作者
不得了 一起拜拜
6#
發表于 2023-3-14 16:18:16 | 只看該作者
中國芯片之路肯定受影響
7#
發表于 2023-3-14 19:11:28 | 只看該作者
出手和我們老百姓有啥關系,

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類似蝴蝶效應吧  發表于 2023-3-15 09:11
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