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6#
樓主 |
發(fā)表于 2021-8-25 10:08:44
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X&Y:
9 X6 [' w4 D; u$ g, l+ X& ]% M8 z行程:100*100左右
8 u1 a3 ]+ }" x/ E# u, t' z7 v/ c2 z最小步進(jìn)距離:1μm. s& e$ ?4 D1 P$ s# C* \
重復(fù)定位精度:<10μm2 m0 R+ {7 u( E& m3 |9 P
直線度:<10μm
- X2 P! z" ]: |% X3 Z$ g$ P3 E" _最大速度:>150mm/s. M Y/ g" V) n. z9 Z# R1 g. z
最大加速度:>2g
5 Y5 c; g4 [4 u+ n% ]( V8 DZ:! C% b6 x) Z' }3 S0 W6 j
行程:50mm左右/ b5 \$ Z `! n* M9 |9 g3 [
最小步進(jìn)距離:1μm
# d- @6 f3 ~. S( ^( q( g重復(fù)定位精度:<10μm+ ~+ B/ k/ X0 N* a; d1 K1 R" w7 g
直線度:<1μm
: V' v$ e+ g" {最大速度:無要求
: T5 A8 D9 k5 i$ K4 h8 p' m/ D% o最大加速度:無要求& `! s) o, c* F9 a3 a
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