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轉一篇百度知道上的帖子,我所接觸過的是LPC測試(liquide particle count).9 P. I/ j! s# ?5 h- L
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$ ?2 v- G7 S0 c+ `- \8 N! ?/ u由于高科技產品的精度越來越高,愈來愈多的產品被要求在相對潔凈的無塵室中生產、包裝、測試,如電腦的磁頭、硬盤、LCD、數碼像機、光學電子等行業。在這些行業中,會使用到大量的無塵室專用手套用于保護產品、人員、環境等。
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+ V) ^; g+ @7 [, p& G5 o由于高科技產品的精度越來越高,愈來愈多的產品被要求在相對潔凈的無塵室中生產、包裝、測試,如電腦的磁頭、硬盤、LCD、數碼像機、光學電子等行業。在這些行業中,會使用到大量的無塵室專用手套用于保護產品、人員、環境等。從污染的角度理解,人被視為潔凈室內最大的污染物發生源,操作人員通過穿上特殊的服裝系統來保護潔凈室環境,免受人員產生的污染物的污染。手套作為這種服裝系統的重要組成部分,不但具有充分的防護作用,同時不會污染受控環境中生產工藝的關鍵區域,所以手套的作用很關鍵。IEST-RP-005.3主要就手套的原料、生產、包裝、測試等做了詳細的規定。
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* A, F! b8 L- j到底該選用何種手套在無塵室中使用,IEST沒有明確的規定,但是建議從產品的精度、無塵室的級別、成本核算等方面綜合考慮。一般來說,如果是ISO 5級或以上的無塵室,建議使用丁腈橡膠手套;如果是生產晶圓、磁頭、硬盤、光學儀器等應使用丁腈橡膠手套。 9 o9 z6 [0 w7 f M2 t* c
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由于手套多數時候是和產品直接接觸的,所以對其品質要求是非常嚴格的,IEST標準要求對生產后的手套,在使用前必須進行清洗以及測試合格后方可使用。測試主要分四部分:外觀檢查、物理測試、ESD性能測試、化學測試。下面主要介紹一下化學方面的測試。 - {3 a" N& D4 |0 G* I1 I
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要做化學測試,首先需要專門的儀器、環境、水源、輔助系統等支持,即需要建造一個實驗室。這是一筆相當大的開支,多數企業不會選擇自己做測試,選用專門的有資格的實驗室測試是一個好的辦法,不過需要付出一定的測試費用。 , m$ h* w8 f4 B1 f
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由于對產品的影響多是微觀因素,即一些肉眼看不見的塵粒子、微生物等,所以測試手套也是從微觀方面做出分析:
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1.LPC測試(液態塵粒測試):LPC測試是將被測物浸泡于DI水中,再進行1分鐘的超聲波震蕩,將附著在被測物上的塵粒溶解于DI水中,然后計算DI水中液態塵粒的數量的方法。該測試是檢查手套潔凈度的一種重要測試方法,主要看手套會跌落多少對產品有影響的塵粒,如磁頭行業,對于大于或等于0.5um的塵粒,不能超過3000個每平方厘米(@0.5um<=3000counts/cm^2)。 ; d& l3 X% W, u7 p/ C- ?$ z
+ P) h8 V5 w7 G' m0 @3 W. H/ w& w2.NVR(非揮發性殘留物)測試:是測試手套上非揮發性殘留物含量的一種測試方法,測試時,用一定量的溶劑對被測試部位進行淋洗或浸泡,收集淋洗或浸泡后的溶液使溶劑揮發,用微量天平稱量殘留物,即可得出手套上非揮發性殘留物的含量.NVR超標可知手套表面有非揮發性殘留物污染。在電腦硬盤行業,一般規定NVR<20ug/cm^2。
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3.FTIR(傅立葉紅外線光譜)測試:由于產品的要求,無塵室不允許有硅油、氨基化合物、DOP等物質存在,因為該些物質會影響到產品的質量。因此,對手套必須進行FTIR測試。測試時,用一定量的溶劑對被測試部位進行淋洗或浸泡,收集淋洗或浸泡后的溶液使溶劑揮發,將殘留物作紅外線光譜分析。這種方法可以分析出手套上是否殘留有硅油、氨基化合物、DOP等。(注意:該測試的結果如果合格,則表示上述三種殘留物沒有超過敏感線,并不表示完全沒有)。
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& M! L5 L$ n$ t5 v0 z \2 O9 U* g4.IC(離子測試):是將被測物浸泡于DI水中,再進行超聲波震蕩,將附著在被測物上的無機陰陽離子溶解于DI水中,然后再進行色譜分析的方法。IC測試可測出被測物上陰陽離子的種類,及每種離子的含量。該測試最常監控的離子是Cl-、NO3-、SO4-、PO4-等,一般總重量不能超過1.0(Total<1.0)。 ) k, x; w4 j! a; [
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5.GC(有機揮發物色譜測試):是用來分析手套上有機污染物的種類和含量的一種方法。測試時,將手套加溫到一定溫度,使有機污染物揮發,將揮發出來的氣體收集起來,進行色譜分析,可得出有機污染物的種類和含量,當GC測試超標時,說明手套上的有機污染物超標。一般在磁頭行業其標準控制在10ug/g(Total:GC<10ug/g)。
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. E& t5 `/ V/ j) X( y以上測試是行業中最常規的幾種測試,同時IEST還規定了如硫化氫測試、耐腐蝕測試、灰燼測試等,企業可以根據產品的需要做出適當的選擇。 |
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