本帖最后由 xiaobing86203 于 2018-2-6 21:22 編輯
" @; z4 S& G( U- w, s y2 n4 G% Y1 R" [6 N
人們很早就嘗試?yán)眉す膺M(jìn)行微加工。但是由于激光的長(zhǎng)脈沖寬度和低激光強(qiáng)度造成材料熔化并持續(xù)蒸發(fā),雖然激光束可以被聚焦成很小的光斑,但是對(duì)材料的熱沖擊依然很大,限制了加工的精度。唯有減少熱影響才能提高加工質(zhì)量。
% {, _2 g8 _) f; M 當(dāng)激光以皮秒量級(jí)的脈沖時(shí)間作用到材料上時(shí),加工效果會(huì)發(fā)生顯著變化。隨著脈沖能量急劇上升,高功率密度足以剝離外層電子。由于激光與材料相互作用的時(shí)間很短,離子在將能量傳遞到周?chē)牧现熬鸵呀?jīng)從材料表面被燒蝕掉了,不會(huì)給周?chē)牟牧蠋?lái)熱影響,因此也被稱(chēng)為“冷加工”。憑借冷加工帶來(lái)的優(yōu)勢(shì),短與超短脈沖激光器進(jìn)入到工業(yè)生產(chǎn)應(yīng)用當(dāng)中。
$ u+ T/ ^6 a7 s" F6 z+ x8 X超短脈沖冷加工在火柴頭上進(jìn)行燒蝕工藝
+ \( o; Q. L0 O4 @$ m$ P5 I
短脈沖激光器產(chǎn)生的脈沖寬度定義在皮秒和飛秒量級(jí)。1 皮秒等于 10-12 秒,1 飛秒等于 10-15 秒。也許比較抽象,但是我們可以轉(zhuǎn)化成距離的形式來(lái)比較。舉個(gè)例子,光的速度是 3x10-8 米每秒,光從地球到月球所需要的時(shí)間大約是 1.3 秒, 而1皮秒的時(shí)間里光運(yùn)動(dòng)的距離是 0.3 毫米! 8 b6 ^- V* [4 m4 N' j; B
短脈沖激光技術(shù)的迅速發(fā)展使得其在工業(yè)范圍的應(yīng)用非常廣泛,幾乎每天都會(huì)發(fā)現(xiàn)新的應(yīng)用。目前短脈沖主要集中在下面幾個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域。
3 K9 ~; c. u3 z3 H+ v% P% u 激光細(xì)微加工的分類(lèi) 電路板設(shè)計(jì)中人們開(kāi)始用陶瓷基底代替常規(guī)的塑料基底以實(shí)現(xiàn)更好的導(dǎo)熱效果。為了連接電子元件,一般需要在板上鉆高達(dá)數(shù)十萬(wàn)個(gè)直徑 40100 μm 的小孔。因此保證基底的穩(wěn)定性不會(huì)受到鉆孔過(guò)程時(shí)熱輸入的影響就變得十分重要,皮秒激光正是這個(gè)應(yīng)用的理想工具。皮秒激光能以沖擊鉆探的方式完成孔的加工,并保證孔的均勻性。除了電路板,皮秒激光還可以對(duì)塑料薄膜、半導(dǎo)體、金屬膜和藍(lán)寶石等材料進(jìn)行高質(zhì)量鉆孔。 v! D. `$ @1 C9 \+ }0 J
3 E2 G2 l8 `4 q9 J N x; {$ G( N
通過(guò)掃描的方式疊加激光脈沖可以形成線(xiàn)。通常要通過(guò)大量的掃描可以深入到陶瓷內(nèi)部,直到線(xiàn)的深度達(dá)到材料厚度的 1/6。然后沿著這些刻線(xiàn)從陶瓷基底上分離單個(gè)模塊。這種分離方法叫做劃線(xiàn)。另一種分離方法是使用超短脈沖激光燒蝕切割,也稱(chēng)為消融切割。激光對(duì)材料進(jìn)行燒蝕,去除材料直到它被切透。這個(gè)技術(shù)的好處是加工的孔的形狀和尺寸具有較大的靈活性。所有的工藝步驟可以通過(guò)一臺(tái)皮秒激光器完成。
. b- h! k9 f8 p8 H* }9 V0 P- }
6 t$ Z" D! K4 v7 z7 G5 y透明材料上零切縫切割
* S5 n, I, x5 N# O- |% f0 a. s 另外一種經(jīng)常被視作微加工的應(yīng)用是在不損害或輕微損害基底材料的情況下精確去除涂層。燒蝕既可以是幾微米寬的線(xiàn),也可以是幾平方厘米的大面積去除。由于涂層的厚度通常遠(yuǎn)小于燒蝕的寬度,以至于熱量不能在側(cè)面?zhèn)鲗?dǎo)。因此可以使用納秒級(jí)脈沖寬度的激光。高平均功率激光、方形或矩形傳導(dǎo)光纖、平頂光強(qiáng)分布,這幾項(xiàng)技術(shù)的結(jié)合使得激光面燒蝕得以在工業(yè)領(lǐng)域得到應(yīng)用。例如:使用通快公司的 TruMicro 7060 激光器去除薄膜太陽(yáng)電池玻璃上的涂層。同樣的激光器也可以應(yīng)用在汽車(chē)工業(yè)中對(duì)抗腐蝕涂層進(jìn)行去除,為后續(xù)焊接做準(zhǔn)備。
. y# v7 z* O; c6 Q& t) m) ` , y9 s; j; j& ?4 x
去除抗腐蝕涂層
& `( P# k$ ~- h8 f. I; @7 F
結(jié)構(gòu)化可以改變材料表面的物理特性。根據(jù)荷花效應(yīng),疏水性表面結(jié)構(gòu)讓水從表面流掉。用超短脈沖激光器在表面創(chuàng)造亞微米結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)這個(gè)特性,并可以通過(guò)改變激光參數(shù)對(duì)所要?jiǎng)?chuàng)造的結(jié)構(gòu)進(jìn)行精確控制。相反的效果,例如親水性表面,同樣可以實(shí)現(xiàn),而且微加工還可以創(chuàng)造更大尺寸的結(jié)構(gòu)。這些工藝可以用于發(fā)動(dòng)機(jī)中的油箱來(lái)制造一些降低磨損的微結(jié)構(gòu),或者在金屬表面結(jié)構(gòu)化實(shí)現(xiàn)與塑料的焊接。
2 B8 d i7 A) H7 F) S7 f , u2 s( h2 v8 @+ W
短脈沖進(jìn)行表面結(jié)構(gòu)化 * O: Z" G N' L O) Z9 _7 K2 T
雕刻成型是通過(guò)燒蝕材料創(chuàng)造三維形狀。盡管燒蝕的尺寸可能會(huì)超過(guò)傳統(tǒng)意義上所說(shuō)的微加工的范疇,但是它所需的精度還是使它被劃分到這類(lèi)激光應(yīng)用領(lǐng)域。皮秒激光可以用于加工銑床的多晶金剛石刀具邊緣。激光是加工多晶金剛石的理想工具,多晶金剛石是可以制作銑刀刀刃的極為堅(jiān)硬的材料。使用雕刻成型技術(shù)來(lái)加工銑刀的切屑槽和齒,這種情形下激光的好處是非接觸和高加工精度。
2 y' S) p8 f( C9 d( j2 H |