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納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)

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發(fā)表于 2006-7-10 16:05:45 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
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納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)
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1 m' e+ z" N) d) S$ H7 m7 E

    

  本項(xiàng)目將固著磨料高速研磨技術(shù)與磨具保型磨損理論和工件均勻研磨加工技術(shù)相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了納米級(jí)高效研磨加工,從而提高我國(guó)機(jī)械加工技術(shù)水平,特別是超精密加工技術(shù)水平。

  納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)主要適合應(yīng)用于單平面和雙平面的超精密研磨加工,其加工精度要求達(dá)到納米級(jí)水平。該技術(shù)主要是采用固著磨料高速研磨加工技術(shù),固著磨料高速研磨與傳統(tǒng)的散粒磨料研磨不同,其磨料的密度分布是可控的。利用固著磨料研磨的這一特點(diǎn),根據(jù)工件磨具間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡密度分布,合理地設(shè)計(jì)磨具上磨料密度分布,以使磨具在研磨過(guò)程中所出現(xiàn)的磨損不影響磨具面型精度,從而顯著提高工件的面型精度,并且避免修整磨具的麻煩。在平面固著磨料研磨中,磨具的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)是主運(yùn)動(dòng),工件的運(yùn)動(dòng)是輔助運(yùn)動(dòng)。在大部分情況下,工件是浮動(dòng)壓在磨具上,其運(yùn)動(dòng)規(guī)律是未知的。因此,要對(duì)工件受力進(jìn)行分析,才能求出其受力狀態(tài)及運(yùn)動(dòng)規(guī)律。取工件為整個(gè)研磨系統(tǒng)的分離體,建立工件受力平衡微分方程,求解該方程就能得到工件的運(yùn)動(dòng)規(guī)律。一旦掌握了磨具和工件的運(yùn)動(dòng)規(guī)律,就可以求出它們間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)及相對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡密度分布。從而根據(jù)工件相對(duì)磨具的運(yùn)動(dòng)軌跡密度分布,設(shè)計(jì)磨具上磨料密度分布,使得磨具在磨損后不喪失原有的面型精度,這就保證了工件的面型精度。

  本項(xiàng)目在原有的單平面磨具保型磨損理論的基礎(chǔ)上,開(kāi)發(fā)出工件均勻研磨技術(shù),從而進(jìn)一步提高了工件的面型精度,同時(shí)還建立了固著磨料雙平面高速研磨磨具保型磨損理論,研制了雙平面高速研磨機(jī),并進(jìn)行了固著磨料雙平面高速研磨加工實(shí)驗(yàn),通過(guò)實(shí)驗(yàn)完善了有關(guān)加工工藝和研磨機(jī),實(shí)現(xiàn)了對(duì)工件的兩個(gè)平行表面同時(shí)進(jìn)行高速研磨加工。本項(xiàng)目還研究了固著磨料高速研磨中工件加工表面的形成規(guī)律,探討了有關(guān)研磨參數(shù)對(duì)工件加工表面的影響規(guī)律,并在此基礎(chǔ)上,進(jìn)一步提高了工件的表面質(zhì)量,實(shí)現(xiàn)了低成本、高效率的納米級(jí)研磨加工,工件已加工表面粗糙度達(dá)0.88nm。

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發(fā)表于 2006-7-10 16:10:51 | 只看該作者

Re: 納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)[發(fā)布時(shí)間:2006-5-25 9:01:00 來(lái)源: 技術(shù)交易網(wǎng)]

樓主是精密設(shè)備方面的人嗎?

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 樓主| 發(fā)表于 2006-7-10 16:19:26 | 只看該作者

Re: 納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)[發(fā)布時(shí)間:2006-5-25 9:01:00 來(lái)源: 技術(shù)交易網(wǎng)]

恩,做精密研磨設(shè)備的
4#
發(fā)表于 2006-7-10 16:33:12 | 只看該作者

Re: 納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)[發(fā)布時(shí)間:2006-5-25 9:01:00 來(lái)源: 技術(shù)交易網(wǎng)]

磨12寸片的?
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 樓主| 發(fā)表于 2006-7-10 17:04:21 | 只看該作者

Re: 納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)

12寸,太小了,我們最大可以精密研磨36寸以上的,甚至更大,不過(guò)那機(jī)器太貴了
6#
發(fā)表于 2006-7-10 17:24:10 | 只看該作者

Re: 納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)

36寸是機(jī)器的尺寸吧,樓主是干晶園的嗎,實(shí)用的晶園好象是12寸耶.
7#
 樓主| 發(fā)表于 2006-7-10 20:26:57 | 只看該作者

Re: 納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)

呵呵,猜錯(cuò)了呵呵,。另一個(gè)帖我回了,我是做研磨拋光設(shè)備的,用戶(hù)很廣泛,不單單是硅晶體,密封,玻璃,航空等等,都是。。那些東西尺寸可就不一樣了,大小都有
8#
發(fā)表于 2006-7-12 11:09:03 | 只看該作者

Re: 納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)

噢,樓主不光拋晶園,還拋別的東西,應(yīng)該能拋大型物鏡吧,什么控制方式,精度達(dá)到怎樣,在以后的大型太空望遠(yuǎn)鏡的生產(chǎn)中能有作為嗎?
9#
 樓主| 發(fā)表于 2006-7-12 22:51:57 | 只看該作者

Re: 納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)

設(shè)備控制方式有多種,普通的,PLC控制,CNC控制,研磨拋光平面度可以達(dá)到1/10光帶吧。至于你說(shuō)的物鏡,應(yīng)該是凹凸的吧,工廠(chǎng)內(nèi)的研磨拋光車(chē)間目前對(duì)平面的研磨拋光可以做到最好,對(duì)于曲面可能還得公司的英美總部做,中國(guó)工廠(chǎng)將來(lái)會(huì)很有發(fā)展的。。
10#
發(fā)表于 2007-5-9 13:15:21 | 只看該作者
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