呵呵~還是揚天師兄思路嚴謹。' {- N$ A: x8 @. C6 S; F: Y2 d
我說的0.004μm的重復精度是指我做實驗的那次的經驗值。被測的是同一個環規的同一個位置。假如換個時間去測,也許會有所偏差,但是一個稍有耐心的技術人員20nm以內是能夠保證的。$ m9 q2 g3 z- s: v+ I
這類超高精度的量儀對環境的要求都很高,被測工件的物理因素也必須考慮,調整適當的測力以滿足不同要求。主要用來檢定環規塞規~~~
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) p7 H+ E1 r0 Z假如樓主的問題按精度(有效分辨率)劃分,可分為低(10~100μ)、中(1~10μ)、高(0.1~1μ)、超高精度(。。~0.1μ)。大致上:
7 r8 \+ Q5 |# Z- ~) R3 G尺類——低精度,其中千分尺等精度較高;
9 ]. O' l. j% e, t" n1 }1 i: ~8 b表類——中等精度,百分表精度較低;
" R. `) `# T5 w/ Z氣動、電動等比較量儀類——高精度,也因廠家而異;
) T' l, h+ Y% t8 z/ g0 |光學量儀——中~高精度;, Y% ]& l$ {. `
其他測長儀、高度儀、三坐標等不同產品精度跨度較大——中~超高。, H w0 `$ a: w% [
9 ]- s, F# w' p4 p1 A
個人意見,歡迎補充或拍磚~~:)
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[ 本帖最后由 野獸飄飄 于 2007-12-13 17:27 編輯 ] |