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回復(fù) 29# 的帖子
呵呵~還是揚(yáng)天師兄思路嚴(yán)謹(jǐn)。; P5 _8 p& {- ~! u& y/ b! }
我說的0.004μm的重復(fù)精度是指我做實(shí)驗(yàn)的那次的經(jīng)驗(yàn)值。被測(cè)的是同一個(gè)環(huán)規(guī)的同一個(gè)位置。假如換個(gè)時(shí)間去測(cè),也許會(huì)有所偏差,但是一個(gè)稍有耐心的技術(shù)人員20nm以內(nèi)是能夠保證的。
$ c- E% A& h& z, E4 \, Z. K; Q& ]這類超高精度的量?jī)x對(duì)環(huán)境的要求都很高,被測(cè)工件的物理因素也必須考慮,調(diào)整適當(dāng)?shù)臏y(cè)力以滿足不同要求。主要用來檢定環(huán)規(guī)塞規(guī)~~~4 J. i' b" z1 C! V; `0 y
d/ J5 [& B) h假如樓主的問題按精度(有效分辨率)劃分,可分為低(10~100μ)、中(1~10μ)、高(0.1~1μ)、超高精度(。。~0.1μ)。大致上:, @ X* u6 }4 ? g. \
尺類——低精度,其中千分尺等精度較高;
2 d9 H) h% J W: \) ^表類——中等精度,百分表精度較低;4 C$ q* a% }( l2 O1 x/ E) u
氣動(dòng)、電動(dòng)等比較量?jī)x類——高精度,也因廠家而異;' p! J2 `' |. s k1 D
光學(xué)量?jī)x——中~高精度;
& \8 ~% n6 o2 E( C' w其他測(cè)長(zhǎng)儀、高度儀、三坐標(biāo)等不同產(chǎn)品精度跨度較大——中~超高。* X) ?+ T/ c- i: s. B2 O
+ g2 L4 P( b1 j# V ?
個(gè)人意見,歡迎補(bǔ)充或拍磚~~:)3 A4 i5 P6 K9 o8 m5 C. B2 l
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[ 本帖最后由 野獸飄飄 于 2007-12-13 17:27 編輯 ] |
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