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半導體設備國產化需要解決的問題 行業專家莫大康認為，發展設備業之所以最為困難，除了資金、人才等問題，最關鍵是使用量太少。 / L) I7 F+ n! k) ~7 V
作為一個曾在全球最大的半導體設備企業——美國應用材料公司供職多年的專家，他從五個方面總結了半導體設備國產化的難度：
8 k- z2 c9 n9 A( @- u2 X一是半導體設備市場已日趨專業化和全球化。當下，全球設備業通過兼并、淘汰，在每個細分市場中僅剩下1～2家、至多3～4家企業，競爭十分激烈，如光刻機領域ASML一家獨大，且均面向全球市場。反觀國內企業，基礎較弱，有能力切入海外市場的很少。
D6 h2 f# c1 L2 I二是半導體設備的獨特地位。上世紀80年代末期開始，半導體設備企業開始把工藝能力整合在設備中，讓用戶買到設備就能保證使用，并且達到工藝要求。因此有“一代器件，一代設備”之說。這是半導體設備如此昂貴的原因，也是對國內企業的極大挑戰。 - i8 ^) e6 K7 v& o: r1 U
三是由于出貨數量少，設備企業難以負擔工藝試驗線的費用。為此，國內只能采取對下游制造企業進行補貼，利用制造企業的產線幫助設備企業進行試驗的辦法，這種方式顯然多有掣肘。一臺設備從研發、樣機開始，必須經過大量硅片通過等工藝試驗，才能發現問題，并進行改型。這樣的過程要重復多次，改型多次，才能最后定型。并且出廠前要經過馬拉松試驗，測算平均無故障時間等。
- Q/ p- k* u: c四是韓國和我國臺灣地區也曾致力于設備國產化，但成效不大，目前全球市場主要仍被美國和日本企業掌控，這也從側面體現了難度。
- m2 O& Z1 t% F& P' g1 A五是設備業需要產業大環境配合。從成本構成來看，表面上我國設備企業和國外企業相差不大，如關鍵零部件都是采購而來，人員和管理費用也相仿，但是實際上，產業大環境卻十分不同。比方說，西方的股權激勵制度更為靈活，員工積極性高;同是采購零部件，我國企業因為是進口，所以要承擔稅費，而且有些零部件訂貨需要出口許可證;因為訂貨量相對小很多，采購價格高;產業配套條件不同，如實現某些設計驗證國內企業要花更高的成本;缺乏人才等。
/ S- Y5 s3 C9 l H“實際上，國產設備的設計水平和國際水平相差并不大。”莫大康強調，“嚴格來說，真正的差距在于，國產半導體設備尚處在樣機階段就交給客戶，這就會導致經常宕機，因此不太可能一上來就用在量產中，否則將會影響生產線運行。” $ J$ O8 z1 J" a' w8 `
毫無疑問，這個進程是曲折的，但前景是光明的，由于西方諸國對中國半導體技術的禁運和各種原因，或會從客觀上拖慢中國半導體的發展進程，如何推動半導體設備國產化是半導體從業者需要考慮的重要問題。期待有大突破的一天。 ! `, I& q0 C; N' D5 q+ R) F
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發表于 2016-10-12 10:07:36
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