傳感器技術(shù)向微型化、智能化、多功能化方向發(fā)展

寂靜天花板

MEMS是指可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS技術(shù)是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。借助MEMS技術(shù)的發(fā)展，傳感器技術(shù)將朝著微型化、智能化、多功能化的方向發(fā)展，這也正適合自動(dòng)化和工業(yè)控制對(duì)傳感器性能的需求。
; L" t2 v9 P5 z; G) L: E        目前，傳感器行業(yè)正處于傳統(tǒng)型向新型傳感器轉(zhuǎn)變的發(fā)展時(shí)期。新型傳感器主要表現(xiàn)在微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化和網(wǎng)絡(luò)化等多方面，它不僅有利于傳感器行業(yè)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)升級(jí)，還能對(duì)建立21世紀(jì)新型工業(yè)很有幫助。微型化是建立在MEMS技術(shù)基礎(chǔ)上的，目前已成功生產(chǎn)出硅壓力傳感器。
        除MEMS技術(shù)之外，材料技術(shù)（如納米技術(shù)）也推動(dòng)著傳感器技術(shù)的發(fā)展，新一代光纖傳感器、超導(dǎo)傳感器、生物傳感器、納米傳感器以及微型陀螺儀等等相繼出現(xiàn)。
        多傳感器數(shù)據(jù)融合技術(shù)目前越來越受到大家的重視，它是基于在多個(gè)傳感器測(cè)量結(jié)果基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)更高層次的綜合決策。有鑒于傳感器微型化、智能化和多功能化的水平的提高，所獲得的信息將大大增加，多種功能進(jìn)一步集成以致于融合，是必然的發(fā)展趨勢(shì)，這也將從側(cè)面促進(jìn)傳感器技術(shù)的發(fā)展。
        國(guó)內(nèi)傳感器廠家和研究機(jī)構(gòu)，要緊跟傳感器技術(shù)發(fā)展的潮流，適時(shí)推出具有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品，積極拓寬國(guó)內(nèi)國(guó)外兩個(gè)市場(chǎng)，提高我國(guó)工業(yè)領(lǐng)域在國(guó)際上的形象。