關(guān)于精密測量

夜闌臥聽

樵薪 發(fā)表于 2015-5-17 18:05
一定要用到光的干涉原理。

有詳細的方案嗎？

fmdd

夜闌臥聽 發(fā)表于 2015-5-18 20:04
$ D" T9 N9 }; [7 [1 a1 M& A激光準直儀的激光束至少有1mm吧，精度能滿足要求嗎？

用透鏡組或者狹縫調(diào)節(jié)光束直徑

無痕葉

情況你描述的不太清楚啊？ （檢查兩個薄片上的細縫是否對齊）是個什么概念？ X,Y方向尺寸一致（在極小誤差內(nèi)）？你的檢測精度是多少？um級？？？  對于這種大尺寸的，要達到um級別，只有機器視覺了，好的成像方案和高分辨率的相機組合。當然 成本還是挺高的。

無痕葉

3 X. @( L. }3 r, K4 \" E
# c* s8 B+ d/ q你的薄片的尺寸？，縫隙尺寸？，這個很重要，    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高。

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CCD

夜闌臥聽

無痕葉 發(fā)表于 2015-5-19 09:37
5 {4 v+ n1 Z; T$ [0 R6 s情況你描述的不太清楚??？ （檢查兩個薄片上的細縫是否對齊）是個什么概念？ X,Y方向尺寸一致（在極小誤差內(nèi) ...

每個薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細縫。想要的結(jié)果是從一個薄片向另一個薄片投影，這兩個薄片能夠重合。誤差必須在5μm以內(nèi)

夜闌臥聽

無痕葉 發(fā)表于 2015-5-19 09:43
  ]& _( H, l! |$ Y; D% B# F你的薄片的尺寸？，縫隙尺寸？，這個很重要，    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高。

每個薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細縫。想要的結(jié)果是從一個薄片向另一個薄片投影，這兩個薄片能夠重合。誤差必須在5μm以內(nèi)

夜闌臥聽

各位繼續(xù)討論啊，我的問題還沒解決
# N' p5 Q3 D7 q3 e4 Q

無痕葉

+ v& r3 j' M3 E; V) {# U
你這個的確是um級的檢測精度， 誤差控制在5um的話，最小分辨率就是1um的概念，我們傾向于用高一個數(shù)量級的分辨率作為以檢測基準，從而保證最終的檢測精度，目前我們在做一個0.5um級別的檢測。
; U! Y5 i, v1 g% \3 @" N當然，還不清楚你的最終結(jié)果是用來做什么？ 是用來控制尺寸合格嗎？ 對于你這種需求，我們檢測上來講一般是要設定標準模板，然后設置偏差參數(shù)，進行模板比對，只要成像上能滿足精度，算法都是很成熟的，至于相機，鏡頭，光源這些要好好的選型。
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1 y( q% `: h( N, k- n+ o/ f8 wPS: 我猜測你的產(chǎn)品可能是跟光有關(guān)的東西。如果是商業(yè)化，上規(guī)模的產(chǎn)品，可以私聊。

夜闌臥聽

無痕葉 發(fā)表于 2015-5-27 11:25
你這個的確是um級的檢測精度， 誤差控制在5um的話，最小分辨率就是1um的概念，我們傾向于用高一個數(shù)量級的分 ...

, J7 ~: K6 F/ ~' F( n1 |) ^+ |9 y您在北京嗎？
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