光伏電池硅片的生產過程主要如下: * \" j- j) m Q* G( k2 [# h
一次清洗,即擴散前清洗。主要通過NaOH.HF,HCL等對硅片進行腐蝕處理,完成去損傷層、制絨,去硅酸鈉,去金屬離子等工藝。 1 n6 \" o0 g' h& ?; ~, D
擴散。在高溫石英爐管內對硅片進行二次清洗前處理。 ' w. o" K8 H* T, G/ v0 P
周邊刻蝕。在工藝室內的一定條件下是硅片的電壓達到允許值。
) A+ e8 `8 F M1 D二次清洗,即擴散后清洗。主要完成去磷硅玻璃、漂洗、噴淋、慢拉、烘干等工藝要求。 ) X% r8 n; t: Z
PECVD。在真空和高溫條件下,對硅片去除水分和空氣后鍍膜。
% d: s" B: M( X絲網印刷。對背電極進行印刷、烘干。 , e2 S; {9 t; N# _( f
燒結或固化。 " _2 f8 T, A- ~
測試。 % \1 q% I! Q: H* T5 I7 y# q5 n
以上工序基本完成了電池硅片的處理過程,再經過焊接接線,組合裝配等配套過程后,電池就可應用。
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