真空機組搭配，請教

晶戈鐵馬

假如需要給一個1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空機組，高真空，真空度要求能達到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的組合。
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現在想知道的是：

7 x1 e6 Z/ T% p9 t3 f一臺抽速1300L/s的分子泵抽和10臺抽速110L/s的分子泵抽，哪個效果更好？然后假如選用1300L/s的分子泵，前級旋片泵的抽速應選多大？

2266998

這個得計算，復雜也不負責，但得算，

& [* Z2 A  U9 i7 e* B) Y8 M你算好了，也可以發上來，大家給你看看，猜謎是不行的，

晶戈鐵馬

2266998 發表于 2012-2-9 11:08
8 p7 b/ w$ c" o! A: ^這個得計算，復雜也不負責，但得算，
2 ?4 B( K$ i% u0 W+ q
你算好了，也可以發上來，大家給你看看，猜謎是不行的，

, D# y0 e/ u+ T* _! j6 c3 R, X7 f998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計？按高真空下的抽氣時間算，主要考慮真空室材料的出氣率，但是這個材料出氣率的表我沒有...，還有就是10個110L/s小分子泵同時抽，是單純的疊加為1100L/s嗎？還有對于1300L/s的分子泵，查到前級選12L/s的泵就可以了。

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2266998

晶戈鐵馬 發表于 2012-2-9 14:28
998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計？ ...

: F% x0 L8 U( n& B1 ~對于一個真空系統，你要計算，而不是估計，怎么玩，阿拉告訴你，
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對于一種真空泵，有一個工作曲線，即在一定時間內，一定工況下，可以達到的真空度，這個還要結合工程熱力學計算，因為隨著抽氣，溫度是變化的，曲線也是變化的，這個要計算，
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粗真空系統，到一個真空度，就沒有效果了，這個要計算，比如升溫，還可以繼續抽氣，這個要折算，

轉換的時候，要考慮閥的密封性，再計算細真空的抽氣速率，

/ y3 y) N7 }8 O4 l4 }1 {總之，這是技術工作，要每個步驟玩出來，不能估計什么東西，別人說的也未必對，尤其網上，胡說的非常多，說了也不負責，比如阿拉，哈哈，

你按阿拉說的，每個步驟耐心玩吧，

喝水都發胖

根據樓主描述的真空腔體，是個不算大的，而且真空度要求也是中真空，很容易達到。

對于這樣的真空腔體，除非你有特別的抽氣時間需求，否則選大泵和小泵都是一個樣。另外如果樓主說的10臺小泵采取分布式安裝，那當然要好點，但分布式安裝的其前級泵如何處理？

所以啊還是根據腔體上開口尺寸選擇一臺分子泵+機械泵組合即可，建議分子泵選擇600L/S的，前級泵選擇6~8 L/S的就完完全全的滿足要求了。

' E: W7 G, L8 J' f再大的分子泵，你就會發現等機械泵抽到10~1 Pa后啟動分子泵，還沒等分子泵滿轉速頻率，真空度已經達到你的要求了。呵呵


# w$ c0 J6 K3 e1 C( j: c4 r1 `以上的前提是 真空腔體不存在大的泄漏，內部材料不存在大的漏放率。

喝水都發胖

另外補充一點

( D$ p6 O' F" R% A# g! X計算過程我就沒幫你算了，你自己下載真空設計手冊算算吧，有相應的章節
" Y, D' `" u; n" C* I% G9 R
計算選擇什么樣的泵所需要的抽氣時間

前級泵的選擇等等。
' X' s9 O& N& i/ M* e
% Q! z, @( z% {下載地址我找了個百度網盤的，正規的。
8 r- @2 s$ a6 N5 L: }. ~' C
. p- h1 o! C9 H- Z  c2 thttp://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_149853622
) D. \% G9 d) Z1 \* b. K

駱馬湖鐵匠

網址已失效了，可惜了

gunianyisheng

駱馬湖鐵匠 發表于 2024-3-5 10:40
1 d6 K* c) J4 N4 x9 e  Z網址已失效了，可惜了

0 U- A0 q& j2 Y: qMechtool,搜這個可以查真空設計手冊，就是不能下載

駱馬湖鐵匠

gunianyisheng 發表于 2024-5-24 14:15
Mechtool,搜這個可以查真空設計手冊，就是不能下載

& G. f2 S  L) s1 u謝謝大俠
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