ICP光譜儀高頻發(fā)生器的原理和維修

江邊鳥

高頻電源是電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的重要組成部分。由于高頻電源處于高壓、高
  x) M/ ]* z* o8 i, r頻、大功率的工作狀態(tài)，因此出現(xiàn)故障的幾率較高。本文介紹美國(guó)LEEMAN公司生產(chǎn)的PLAS—
MA—sPEc顧序直讀電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的高頻電源原理和故障分析檢修實(shí)例，供
同行參考。