有無可測兩平面平行度的儀器？

小北方2010

和大家分享一下激光干涉儀的工作原理：
以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
雙頻激光干涉儀原理

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% X4 V# n# m. H9 a8 v, S4 j雙頻激光干涉儀是一種新型激光干涉儀,
, S. w7 p! k7 R" W9 J8 U5 X3 M5 I        基本原理與單頻激光干涉儀不同。如圖所示，它是利用光的干涉原理和多卜勒效應（此處指由于振源相對運動而發(fā)生的頻率變化的現(xiàn)象）產(chǎn)生頻差的原理來進行位移測量的。
1 U  V2 Q0 C4 L& G激光器放在軸向磁場內(nèi)，發(fā)出的激光為方向相反的右旋圓偏振光和左旋圓偏振光，其振幅相同，但頻率不同，分別表示為f1和f2。經(jīng)偏振分光鏡，一部分反射光經(jīng)檢偏器射入光電元件D1作為基準頻率f基 (f基＝f1－f2)。頻率為f２的光束完全反射，經(jīng)濾光器變?yōu)榫€偏振光f２，投射到固定棱鏡并反射到偏振分光鏡處。頻率為f1的光束折射經(jīng)濾光器變?yōu)榫€偏振光f1，投射到移動棱鏡后也反射到偏振分光鏡處，兩者產(chǎn)生相干光束。若移動棱鏡移動，則反射光的頻率由于多卜勒效應而發(fā)生變化，其頻差為多卜勒頻差Δf。
       頻率為f1±Δf的反射光與頻率為f２的反射光在b處匯合后，經(jīng)檢偏器射入光電元件D２，得到頻率為測量頻率f測＝f２－(f1±Δf)的光電流，這路光電流與經(jīng)光電元件D１后得到頻率為f基的光電流同時經(jīng)放大器進入計算機，經(jīng)減法器和計數(shù)器，即可算出差值±Δf，并按公式計算出移動棱鏡的移動速度v和移動距離l。

wpc

老兄你在推薦設備吧?
- v; a) w# N9 S4 R. G: T3 [能介紹一下你的工件是什么樣的?在那里用的?

mixin0756

這個零件測量的難點在于有一個平面面積太小。

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我第一反應就是用百分表，既然你打不出來，這個精度也就是激光了。學習！