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* O# G5 G' x0 W/ g 李志堅
+ E" H9 _( a% |$ S0 y3 g M E M S 一詞由M i c r o E l e c t r o M
e c h a n i c a l S y s t e m 的4 個字首組成，
可譯為微電子機械系統(tǒng)。M E M S 的起源可以追溯到6
0 年代，1 9 8 9 年后M E M S 一詞就漸漸成為一個世
界性的學術(shù)用語，M E M S 技術(shù)的研究開發(fā)也日益成為
國際上的一個熱點。與M E M S 一詞同時流行的還有M
i c r o M a c h i n e （微機械）和M i c r o
S y s t e m （微系統(tǒng)）。它們都以微小（M i c r o
）為特征，有的強調(diào)機械，有的強調(diào)系統(tǒng)，但當前人們
常不加區(qū)別地與M E M S 通用。
3 W/ O; Q: w4 N 一般地說，M E M S 具有以下非約束性的特征：
+ z6 _: P) U* f) E N4 Y ?。? ）尺寸在毫米到微米范圍之內(nèi)，區(qū)別于一般宏
（M a c r o ），即傳統(tǒng)的、大于1 厘米尺度的“機械
”，但并非進入物理上的微觀層次；
3 s6 T" k! Z; x! r# W$ S& ~
?。? ）基于（但不限于）硅微加工（M i c r o f
a b r i c a t i o n ）技術(shù)制造；
! U: N" @+ x* H6 r9 D; y% Z （3 ）與微電子芯片類同，可大批量、低成本生產(chǎn)
，性能價格比傳統(tǒng)“機械”制造技術(shù)大幅提高；
9 |( t+ t+ g7 B, P8 `2 [6 x ?。? ）M E M S 中的“機械”不限于狹義的機械力
學中的機械，它代表一切具有能量轉(zhuǎn)化、傳輸?shù)裙δ艿?BR>效應(yīng)，包括力、熱、聲、光、磁，乃至化學、生物能等
；
2 P W, u' t# @$ E （5 ）M E M S 的目標是微“機械”與I C 集成的
微系統(tǒng)———有智能的微系統(tǒng)。
8 q" n% k8 `2 k$ @ 用以上特征衡量，用微電子技術(shù)（但不限于此）制
造的微小機構(gòu)、器件、部件和系統(tǒng)等都屬于M E M S 范
圍，微機械和微系統(tǒng)只是M E M S 發(fā)展的不同層次，有
關(guān)的科學技術(shù)都可統(tǒng)稱為M E M S 技術(shù)。
; ]* k% ^" S( ^, L9 T 當前，信息技術(shù)已走上多媒體、網(wǎng)絡(luò)化和智能化的
道路，微電子信息處理已向系統(tǒng)級芯片集成發(fā)展。無論
從微型化或性能價格比發(fā)展看，信息獲?。▊鞲校┘夹g(shù)
和信息執(zhí)行技術(shù)，即所謂“外部設(shè)備”技術(shù)都已成為發(fā)
展的瓶頸；它們與“主機”的接口（H I ）也成為阻礙
處理速度的關(guān)鍵。M E M S 技術(shù)的目標是把信息獲取、
處理和執(zhí)行一體化地集成在一起，使之成為真正的系統(tǒng)
，因此該技術(shù)對信息技術(shù)的革命意義是不言而喻的。對
傳統(tǒng)的“機械學”來說，M E M S 技術(shù)不僅打開了“微
尺寸”新領(lǐng)域的大門，也是真正實現(xiàn)機電一體化的開始
。M E M S 被認為是微電子技術(shù)的又一次革命，對2 1
世紀的科學技術(shù)、生產(chǎn)方式和人類生活質(zhì)量都會有深遠
的影響。
, H; f# P! f2 M; S* k4 b- u
?。ㄔd《科技導(dǎo)報》9 ／1 9 9 7 ，本文是一篇論
文的引言部分）
1 r) p- f" l" O7 B% m
《人民日報》（1 9 9 7 1 1 2 6 十版） | 
發(fā)表于 2006-9-24 09:00:58
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