超精密機械設備設計與開發

養豬東籬下

文不對題

帕肉賽斯

怒砍一分

skyll

怒刷一分

喂我袋鹽

lz來點干貨，怎樣的超精密

寒寒thunder

怒刷一貼？？？

xfxywzy

目前的精密單方向平臺，已經可以做到納米等級的進給（1nm，100mm行程）。可能只有很少的行業會用到，價格也比較昂貴（10W RMB）。其中納米等級的控制目前的難點在于驅動器，必須使用超高分辨率的驅動控制模塊來控制。
- U) s3 v" `( T% }; ^+ g0 \* h現在有一個樣品正在研究，品牌PI，可以去他們的官網看看，有余等級限制發不了鏈接，可以直接搜Physik Instrument. 有很多超精密控制的模組。

xfxywzy

發不了圖片，具體的結構初步來看是需要2-3級調節。
* U/ O$ E# F! D! T+ G& Y, J0 D; W第一等級是X-Y的粗調節，精度在±2um之內就行，第二等級調節就是PZT壓電陶瓷調節，精度可以做到進給0.1nm,行程15um.
0 S8 q0 h/ |1 M2 J0 ^1 I
系統的空氣主軸的性能也需要密切關注，因為碟片測試不僅僅有精度跳動要求（跳動越小越好 50nm以內），對軸也有速度控制要求（0.005%）。目前合適的供應商也在尋找中。

喂我袋鹽

xfxywzy 發表于 2023-3-9 10:36
發不了圖片，具體的結構初步來看是需要2-3級調節。
4 j4 B/ G9 C/ f. D第一等級是X-Y的粗調節，精度在±2um之內就行，第二等 ...

+ z; Q# T; S5 d9 m不知所云

328Feng_328

愿聞其詳！

長涯

喂我袋鹽 發表于 2023-7-13 11:01
( D3 _( ?  B! E$ ]- c' B& Z不知所云

應該是先用第一級運動單位，比較快速并且較準確的移動到制定目標點附近，然后第二級超精密運動單位精確控制檢測點的位置吧