納米位移臺(tái)研發(fā)

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棲格瑪 發(fā)表于 2022-3-19 21:31
結(jié)構(gòu)和你的類似，只是細(xì)節(jié)不一樣搜索日本駿河可以看到

這個(gè)日本駿河也是MISUMI旗下的？

老菜鳥168

之前搞過(guò)亞微米，幾百納米那種，壓電陶瓷+氣浮平臺(tái)，樓主這個(gè)看來(lái)要更難一點(diǎn)。

xfxywzy

我最近也在找類似的產(chǎn)品，應(yīng)用場(chǎng)景跟你類似，50nm的分辨率，但我們希望能做到1nm的分辨率。目前市面上可以參考PI這家廠商的產(chǎn)品，我們選了一款分辨率0.1nm,行程15um的壓電軸，同時(shí)現(xiàn)在直線電機(jī)現(xiàn)在也可以做到1nm的步進(jìn)，我也是在學(xué)習(xí)和了解中，馬上準(zhǔn)備拿樣品來(lái)測(cè)試。
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xfxywzy

xfxywzy 發(fā)表于 2023-3-2 15:17
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8 {1 U' C2 Q) d& V. z, p( \! F位移臺(tái)的精度，目前我知道有可以做到1nm步進(jìn)的 行程100mm. 目前我們剛拿到一個(gè)樣品在研究，品牌PI的。一套大概10W RMB。

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這類我們都用壓電臺(tái)子了，光學(xué)檢測(cè)行業(yè)

清風(fēng)烈月

磁驅(qū)平面電機(jī)

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納米位移臺(tái)20年前我們所就做過(guò)，對(duì)使用環(huán)境要求很高，傳動(dòng)用的是摩擦傳動(dòng)，全部是氣體靜壓的。常規(guī)環(huán)境下不能實(shí)現(xiàn)納米精度。