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發(fā)布時(shí)間: 2014-5-25 21:15
正文摘要:一個(gè)用于半導(dǎo)體行業(yè)的清洗方案，用來(lái)清洗晶圓片，用高壓水清洗，伺服電機(jī)帶動(dòng)晶圓片旋轉(zhuǎn)，1000多轉(zhuǎn)每分鐘，晶圓片真空吸附，大家看看主軸旋轉(zhuǎn)這個(gè)結(jié)構(gòu)怎么樣，基準(zhǔn)板是焊接到機(jī)架上的，打算焊接后再加工一刀。 ... |
| 路過(guò)學(xué)習(xí)～ |
| 學(xué)習(xí) |
| 值得學(xué)習(xí) |
八點(diǎn)半 發(fā)表于 2014-5-26 10:47 精度要求不高，主要?jiǎng)悠胶庖茫€有真空吸附要效果好 |
| 就一個(gè)普通轉(zhuǎn)臺(tái)就行啊，也不需要太大的精度吧！ |
| 我看錯(cuò)了，我以為你要清洗這個(gè)行業(yè)呢！ |
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藍(lán)寶石 ？ 可以參考 涂膠機(jī) 清洗結(jié)構(gòu) |
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沒(méi)看清，感覺(jué)類似立車的主軸 你參考一下 再有就是，你想得到什么樣的精度 選什么樣的軸承 端跳，經(jīng)跳 需要考慮什么工況，盤子會(huì)不會(huì)飄？ 純屬瞎猜 |
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