一路向北ck 發(fā)表于 2022-5-25 09:18
之前我設(shè)計一臺設(shè)備，用的是NewWay的標準空氣軸承塊（多孔材料），這種空氣軸承塊需要用膠粘結(jié)，對裝配要求 ...

單獨從圖片上無法準確判斷采用何種氣浮軸承。如果單純重復(fù)定位精度0.1~0.3um，兩種軸承其實都可以實現(xiàn)，加工和裝配工藝是一方面，樓上說的溫度補償也是非常重要的一點，還有測量環(huán)境，材料選擇，光柵尺的選擇，控制算法，需要多方面考慮。QQ：564384682

研發(fā)三坐標，有共通之處。

1027726686 發(fā)表于 2022-5-25 10:44
這種微型氣浮平臺確實用直線電機更好一些，直線電機建議用無鐵芯，光柵尺分辨率根據(jù)速度匹配，環(huán)境溫度需要 ...

感謝分享！
你是做運動平臺這塊的嗎？

這種微型氣浮平臺確實用直線電機更好一些，直線電機建議用無鐵芯，光柵尺分辨率根據(jù)速度匹配，環(huán)境溫度需要控制的很好建議增加溫補，不然影響精度。材料盡可能統(tǒng)一化，傳動及光柵尺的位置盡量符合阿貝原則。

沒運氣的小男孩 發(fā)表于 2022-5-24 21:28
在之前的項目中接觸過一些，談不上什么經(jīng)驗。一般這種氣浮臺采用直線電機驅(qū)動，對環(huán)境和氣源有一定要求；承 ...

感謝回復(fù)！
多孔材料的機臺我設(shè)計過一臺，精度沒達到預(yù)期。
目前想了解一下小孔節(jié)流的方案，想具體請教一下，能否留個聯(lián)系方式。

大白小白 發(fā)表于 2022-5-24 20:57
lz先說說自己的理解。

感謝回復(fù)！我的經(jīng)驗如下

之前我設(shè)計一臺設(shè)備，用的是NewWay的標準空氣軸承塊（多孔材料），這種空氣軸承塊需要用膠粘結(jié)，對裝配要求較高，第一次做出來的精度不高，達不到同行做出來的重復(fù)定位精度0.1-0.3um。
且分析我一樓圖片的這種單軸的機臺結(jié)構(gòu)比較緊湊，看著不像用的空氣軸承塊。
猜測用的小孔節(jié)流的方案，想請教一下有沒有這方面的經(jīng)驗可以交流分享的

在之前的項目中接觸過一些，談不上什么經(jīng)驗。一般這種氣浮臺采用直線電機驅(qū)動，對環(huán)境和氣源有一定要求；承載能力可以按照2kg/cm^2估算；氣膜厚度一般控制在10um左右，氣膜剛度一般通過增加預(yù)載的方式來調(diào)整；節(jié)流孔通常有小孔節(jié)流和多孔材料兩種；國外品牌Aerotech、Newway等。樓主如果有詳細需求可以具體探討一下。

lz先說說自己的理解。