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標題: 國產6“半導體設備 [打印本頁]
作者: 小衣    時間: 2008-3-19 08:48
標題: 國產6“半導體設備
中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司PECVD事業部，由美國硅谷多年從事半導體沉積設備制造的高技術人才團隊歸國組建，團隊致力于技術研發和生產經營，以客戶需求為導向，為客戶提供最為完善、優質的服務。
CC1等離子體化學氣相沉積系統獲美國 NOVELLUS(諾發)Concept One（C1）授權，全部引進其生產技術及工藝，具有成熟的二氧化硅、氮化硅、氮氧硅等鍍膜工藝，可廣泛應用于4寸、5寸、6寸半導體晶圓代工生產線及半導體集成電路與分立器件生產線。
更新設計的自動化控制系統，采用了 Device Net 現場總線通訊技術；控制程序基于 Windows 2000平臺設計，程序界面更友好，工藝操作更便捷，提高了控制系統效率。此外設備還提供基于SEMI通訊協議的工業以太網接口，使得遠程監控和生產線設備調度管理更方便。
作者: 風情一劍    時間: 2008-3-23 13:29
標題: 回復 1# 的帖子
奇怪，這個帖子怎么會在CAD版塊里面？
斑竹？？
作者: 深南大道    時間: 2008-3-24 22:03
哈哈，現在12‘’的廠子到處開花哦~~~
這是否預示著中國的半導體行業起步了呢



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