梁福重 發表于 2017-9-18 06:14
精密絲杠或模組的定位精度,等級高的可以做到奈米分辨率,如芯片`半導體制程設備,但這樣的系統精度並非僅 ...
梁福重 發表于 2017-9-18 06:14$ d! W7 f$ v, |" j5 h( B7 u( S
精密絲杠或模組的定位精度,等級高的可以做到奈米分辨率,如芯片`半導體制程設備,但這樣的系統精度並非僅 ...
清來 發表于 2017-9-18 09:08, f* t9 _) h! M) M
要是用的是三菱電機或者松下電機搭高精度絲杠模組的話,短行程定位精度能做到um級嗎?
梁福重 發表于 2017-9-18 09:31
三菱/松下的電機及驅動控制單元基本做到um等級都是沒問題,但主要還是絲杠/滑臺模組精度要夠高(絲杠用細 ...
清來 發表于 2017-9-18 09:08
要是用的是三菱電機或者松下電機搭高精度絲杠模組的話,短行程定位精度能做到um級嗎?
yinzengguang 發表于 2018-2-22 20:38
用不用加個光柵尺
梁福重 發表于 2017-9-18 06:14
精密絲杠或模組的定位精度,等級高的可以做到奈米分辨率,如芯片`半導體制程設備,但這樣的系統精度並非僅 ...
芊兒0702 發表于 2018-1-19 12:00, ?7 S7 f. I& P8 \ Z/ \+ X
微米級別沒問題的
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