檢測參數 | 標準值 | 實際值 |
最大速度 | 0.5m/s | 0.5m/s |
最大加速度 | 3m/s^2 | 3m/s^2 |
組合平行度 | 0.04mm | 0.002mm |
組合重複定位精度 | ±3μm | ±3μm |
組合定位精度(未補償) | ±0.01mm | ±0.01mm |
有效行程 | 200mm | 200mm |
光柵尺分辨率 | 1μm | 1μm |
檢測參數 | 標準值 | 實際值 |
最大速度 | 0.8m/s | 0.8m/s |
最大加速度 | 10m/s^2 | 10m/s^2 |
組合平行度 | 0.04mm | 0.005mm |
重複定位精度 | ±1μm | ±0.5μm |
定位精度(補償后) | ±3μm | ±1μm |
有效行程 | 750mm | 750mm |
光柵尺分辨率 | 0.5μm | 0.5μm |
X軸橫樑最低點距離大理石平臺距離 | 445mm | 444mm |
檢測參數 | 標準值 | 實際值 |
最大速度 | 0.8m/s | 0.8m/s |
最大加速度 | 10m/s^2 | 10m/s^2 |
組合平行度 | 0.04mm | 0.003mm |
組合重複定位精度 | ±1μm | ±0.3μm |
組合定位精度(補償后) | ±3μm | ±0.3μm |
有效行程 | 550mm | 550mm |
光柵尺分辨率 | 0.5μm | 0.5μm |
檢測參數 | 標準值 | 實際值 |
最大速度 | 1m/s | 1m/s |
最大加速度 | 8m/s^2 | 8m/s^2 |
平行度 | 0.04mm | 0.003mm |
單向重複定位精度 | ±0.01mm | ±0.007mm |
定位精度(未補償) | ±0.04mm | ±0.04mm |
有效行程 | 550mm | 550mm |
檢測參數 | 標準值 | 實際值 |
組合重複定位精度 | 0.5m/s | 0.5m/s |
組合定位精度 | 3m/s^2 | 3m/s^2 |
組合行走平行度 | 0.04mm | 0.015mm |
U軸最低點距離大理石平臺的距離 | 445mm | 444mm |
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