光伏電池硅片的生產過程主要如下:
! U6 I+ i- X, ?+ `7 f& t一次清洗,即擴散前清洗。主要通過NaOH.HF,HCL等對硅片進行腐蝕處理,完成去損傷層、制絨,去硅酸鈉,去金屬離子等工藝。
擴散。在高溫石英爐管內對硅片進行二次清洗前處理。
) y; F3 E+ K( l# j2 R周邊刻蝕。在工藝室內的一定條件下是硅片的電壓達到允許值。
二次清洗,即擴散后清洗。主要完成去磷硅玻璃、漂洗、噴淋、慢拉、烘干等工藝要求。
PECVD。在真空和高溫條件下,對硅片去除水分和空氣后鍍膜。
, Y+ _/ h7 ^" P F絲網印刷。對背電極進行印刷、烘干。
4 F, {( {; d7 v$ }燒結或固化。
測試。
' E" s; K6 B/ W! `' i以上工序基本完成了電池硅片的處理過程,再經過焊接接線,組合裝配等配套過程后,電池就可應用。
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