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機械社區

標題: 一種硅片傳輸機械手 [打印本頁]
作者: 丹楓911    時間: 2013-5-30 20:28
標題: 一種硅片傳輸機械手
種應用于半導體設備上的硅片傳輸機械手
作者: gaolaodajiayou    時間: 2013-5-30 22:13
看的不是很清楚，半導體行業真空用的很普遍，現在最牛逼的已經是讓硅片懸浮移動。
作者: 長江漂流    時間: 2013-5-30 22:16
是用的非接觸吸盤來吸取硅片的吧。
作者: WAST1989    時間: 2013-5-30 22:42
gaolaodajiayou 發表于 2013-5-30 22:13
5 Y, y6 d  t5 B* z! m  q; R看的不是很清楚，半導體行業真空用的很普遍，現在最牛逼的已經是讓硅片懸浮移動。
' o3 t0 Y/ h! ?6 Q" ~1 R  G
斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？! t4 v8 @- _) ^7 w
作者: xmdesign    時間: 2013-5-31 07:14
WAST1989 發表于 2013-5-30 22:42
- Z) _, ]$ R( y( q斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理，也是控制氣量嗎？

' t4 [2 p; B4 U9 J  N+ p用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制 前、后、左、右懸浮飄移5 z4 U8 {0 V. r
作者: 931673326    時間: 2013-5-31 21:20
看看
作者: 天氣    時間: 2015-6-17 22:49
感覺稍顯笨重。。。
作者: bitter007    時間: 2016-7-19 16:59
xmdesign 發表于 2013-5-31 07:14
3 ?: Q" z! o/ g2 m/ ~用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位，可以控制 前、后、左、右懸浮飄移1 {( x  x2 P6 m! _/ x
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展會上見過磁懸浮傳動的0 ]  u  H( a7 {




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