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機(jī)械社區(qū)

標(biāo)題: 真空吸附加工問題 [打印本頁]

作者: 業(yè)峰心飛翔 時(shí)間: 2012-2-18 08:15
標(biāo)題: 真空吸附加工問題
我們需要用激光切割硅片，因?yàn)楣杵某叽鐬?50mm*150mm*0.2mm,太薄，而且易碎，切割時(shí)因?yàn)槭軣峁杵瑫?huì)翹起，想用真空吸附的辦法解決翹起問題，請(qǐng)問大家選用真空發(fā)生器好還是真空泵好，有朋友能提供這方面的資料嗎？

作者: leftwall 時(shí)間: 2012-2-18 09:31
門外漢說兩句
加水冷不行么？
印象中對(duì)抽速和真空度要求不大用發(fā)生器吧（沒實(shí)際搞過，僅僅是模糊的印象）

作者: 業(yè)峰心飛翔 時(shí)間: 2012-2-18 09:38
沒有加水手工把片分開都要小心，有時(shí)會(huì)碎，其他的就問題就不用說了

作者: ahway 時(shí)間: 2012-2-21 22:38
我為大族激光推薦的方案是使用PIAB真空發(fā)生器piClassic系列，流量至少300NL/min，真空度最高-95Kpa。

作者: 冷欣 時(shí)間: 2012-2-21 22:49
機(jī)械行業(yè)包含的范圍太廣了，我們單位是重型加工，真沒見過這么小的加工

作者: 251785340 時(shí)間: 2012-4-22 19:43
按照你的尺寸，真空發(fā)生器就OK了，真空度-80一-90KPa。但是要考慮吸附后的影響，吸痕或者吸附力不均勻等?？梢钥紤]下采用多個(gè)非接觸吸盤加定位機(jī)構(gòu)。

作者: jayhu 時(shí)間: 2012-6-1 23:14
硅片加工為什么不采用蝕刻的方法呢？

作者: liuyong453 時(shí)間: 2012-7-20 10:09
你是不是應(yīng)該加水切割

作者: 真空專家 時(shí)間: 2012-8-10 14:40
要用真空泵

作者: 天氣 時(shí)間: 2015-5-28 14:58

251785340 發(fā)表于 2012-4-22 19:43 . u4 X" E, l; v5 V2 {2 y
按照你的尺寸，真空發(fā)生器就OK了，真空度-80一-90KPa。但是要考慮吸附后的影響，吸痕或者吸附力不均勻等?？?...

大俠是否有用吸盤和定位機(jī)構(gòu)的案例圖片？

作者: ahway 時(shí)間: 2015-7-6 17:32
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作者: MZH-2001 時(shí)間: 2015-9-25 11:55
用伯努力吸盤

作者: MZH-2001 時(shí)間: 2015-9-25 11:56
還有就是半導(dǎo)體行業(yè)是貼麥拉

作者: lhj19791021 時(shí)間: 2015-9-28 15:22
用真空泵

作者: yf_fly 時(shí)間: 2015-10-20 11:50
現(xiàn)在這種非接觸式搬運(yùn)很多的，smc也有

作者: 無應(yīng)力夾具 時(shí)間: 2015-11-5 21:19
可以考慮我們的無應(yīng)力夾具，應(yīng)該能完美解決你的問題，具體可以私聊

作者: 無應(yīng)力夾具 時(shí)間: 2015-11-5 21:22
激光加工一些材料會(huì)有大量熱量產(chǎn)生，單純真空吸附雖然可以解決翹起問題，但是因?yàn)闊崃康脑蚣庸ばЧ麜?huì)受影響

作者: 喬大蔥 時(shí)間: 2015-11-6 16:08
DISCO是用陶瓷盤吸附的

作者: hiag 時(shí)間: 2016-3-3 16:03
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