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標題: 真空機組搭配，請教 [打印本頁]
作者: 晶戈鐵馬    時間: 2012-2-9 10:42
標題: 真空機組搭配，請教
假如需要給一個1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空機組，高真空，真空度要求能達到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的組合。
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現在想知道的是：
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) P( Q1 I- T. `4 U" p( S9 c一臺抽速1300L/s的分子泵抽和10臺抽速110L/s的分子泵抽，哪個效果更好？然后假如選用1300L/s的分子泵，前級旋片泵的抽速應選多大？
作者: 2266998    時間: 2012-2-9 11:08
這個得計算，復雜也不負責，但得算，
$ A# O2 ^6 \6 Z: z: i1 o
& I2 ^6 B0 v2 r4 @" X你算好了，也可以發上來，大家給你看看，猜謎是不行的，
作者: 晶戈鐵馬    時間: 2012-2-9 14:28
2266998 發表于 2012-2-9 11:08
9 Y4 }2 J. N4 }* M這個得計算，復雜也不負責，但得算，/ [3 S6 }  {) [* s" A+ X' s# G* c

( L- E- J/ j/ h你算好了，也可以發上來，大家給你看看，猜謎是不行的，

) G+ Y0 k8 i, @2 Q998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計？按高真空下的抽氣時間算，主要考慮真空室材料的出氣率，但是這個材料出氣率的表我沒有...，還有就是10個110L/s小分子泵同時抽，是單純的疊加為1100L/s嗎？還有對于1300L/s的分子泵，查到前級選12L/s的泵就可以了。5 D1 v( l6 i$ p( z" H/ L
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作者: 2266998    時間: 2012-2-9 14:35
晶戈鐵馬 發表于 2012-2-9 14:28
1 R' }3 ]' p" Z* N0 J9 E* Q998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計？ ...
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對于一個真空系統，你要計算，而不是估計，怎么玩，阿拉告訴你，
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對于一種真空泵，有一個工作曲線，即在一定時間內，一定工況下，可以達到的真空度，這個還要結合工程熱力學計算，因為隨著抽氣，溫度是變化的，曲線也是變化的，這個要計算，+ K9 S" v) G/ {

8 k2 I6 w& H0 _6 l2 ?$ [$ j粗真空系統，到一個真空度，就沒有效果了，這個要計算，比如升溫，還可以繼續抽氣，這個要折算，( {: v$ u' V" d' N+ [: }; W6 a
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轉換的時候，要考慮閥的密封性，再計算細真空的抽氣速率，4 y3 y# s$ D* x
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總之，這是技術工作，要每個步驟玩出來，不能估計什么東西，別人說的也未必對，尤其網上，胡說的非常多，說了也不負責，比如阿拉，哈哈，( X' s; J" K- b' C8 o
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你按阿拉說的，每個步驟耐心玩吧，
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作者: 喝水都發胖    時間: 2012-5-30 16:54
根據樓主描述的真空腔體，是個不算大的，而且真空度要求也是中真空，很容易達到。1 d9 h7 {% W  G2 b/ H
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對于這樣的真空腔體，除非你有特別的抽氣時間需求，否則選大泵和小泵都是一個樣。另外如果樓主說的10臺小泵采取分布式安裝，那當然要好點，但分布式安裝的其前級泵如何處理？
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所以啊還是根據腔體上開口尺寸選擇一臺分子泵+機械泵組合即可，建議分子泵選擇600L/S的，前級泵選擇6~8 L/S的就完完全全的滿足要求了。
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( W$ m! a4 I  H: J3 a" x0 a. ]再大的分子泵，你就會發現等機械泵抽到10~1 Pa后啟動分子泵，還沒等分子泵滿轉速頻率，真空度已經達到你的要求了。呵呵& ~& X) @3 b; q8 a

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以上的前提是 真空腔體不存在大的泄漏，內部材料不存在大的漏放率。
作者: 喝水都發胖    時間: 2012-5-30 16:59
另外補充一點
7 p: q# @) K6 ]5 }+ ]. e, i- ^" w! @1 s+ l6 ]
計算過程我就沒幫你算了，你自己下載真空設計手冊算算吧，有相應的章節
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) {. s% c% R& c* J9 p, q0 b' T計算選擇什么樣的泵所需要的抽氣時間% R7 x! z4 C4 V' i3 b

' d  @6 ]1 t4 y" o/ N前級泵的選擇等等。& x! f' C: y+ }& q5 q: X, B
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下載地址我找了個百度網盤的，正規的。
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http://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_1498536224 V4 b/ E; m! _* d; i
作者: 駱馬湖鐵匠    時間: 2024-3-5 10:40
網址已失效了，可惜了
作者: gunianyisheng    時間: 2024-5-24 14:15
駱馬湖鐵匠 發表于 2024-3-5 10:40
7 ?5 N7 f! E8 Q% j5 L網址已失效了，可惜了

; B  N& g" S5 ?' ?0 fMechtool,搜這個可以查真空設計手冊，就是不能下載) O$ s; g) H& G9 \" E' p% p
作者: 駱馬湖鐵匠    時間: 2024-5-25 08:07
gunianyisheng 發表于 2024-5-24 14:15. K: i5 i* u/ n$ C3 E, z$ ~- K
Mechtool,搜這個可以查真空設計手冊，就是不能下載
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謝謝大俠
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