seebb 發表于 2011-10-29 19:47( D8 a( h1 ~ p- t: {; l$ x% Z( ?2 e
有油霧的話比較麻煩,我司的機械手找wafer時用的是SUNX的一款反射式激光傳感器,很好用,但是是在潔凈環境中 ...
會說話的小牛 發表于 2011-10-29 21:58" M2 b6 r2 E, a+ N5 K/ w q9 J- b, v" r
可能不行,光電反射時有可能因為反射的角度問題造成誤報,請注意,我們就遇到類似的問題,所以要考慮高精度 ...
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