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) H7 V7 \) H+ {1 N1 X, { 李志堅
- e0 N7 h4 |9 Y* ^$ u* z$ | M E M S 一詞由M i c r o E l e c t r o M
e c h a n i c a l S y s t e m 的4 個字首組成，
可譯為微電子機械系統(tǒng)。M E M S 的起源可以追溯到6
0 年代，1 9 8 9 年后M E M S 一詞就漸漸成為一個世
界性的學術用語，M E M S 技術的研究開發(fā)也日益成為
國際上的一個熱點。與M E M S 一詞同時流行的還有M
i c r o M a c h i n e （微機械）和M i c r o
S y s t e m （微系統(tǒng)）。它們都以微小（M i c r o
）為特征，有的強調機械，有的強調系統(tǒng)，但當前人們
常不加區(qū)別地與M E M S 通用。
- |( F4 V2 |) A
一般地說，M E M S 具有以下非約束性的特征：
/ G% m! w! H" |- d1 [3 v6 W% U
（1 ）尺寸在毫米到微米范圍之內，區(qū)別于一般宏
（M a c r o ），即傳統(tǒng)的、大于1 厘米尺度的“機械
”，但并非進入物理上的微觀層次；
" A. U0 A. e7 I O' O$ K9 }
（2 ）基于（但不限于）硅微加工（M i c r o f
a b r i c a t i o n ）技術制造；
. Z* s+ @0 g2 n* M- }
（3 ）與微電子芯片類同，可大批量、低成本生產(chǎn)
，性能價格比傳統(tǒng)“機械”制造技術大幅提高；
/ \' T0 t& [8 {. d
（4 ）M E M S 中的“機械”不限于狹義的機械力
學中的機械，它代表一切具有能量轉化、傳輸?shù)裙δ艿?BR>效應，包括力、熱、聲、光、磁，乃至化學、生物能等
；
1 Y; W% Y2 w# x, ]( c9 i G （5 ）M E M S 的目標是微“機械”與I C 集成的
微系統(tǒng)———有智能的微系統(tǒng)。
4 u" V4 T5 G/ h- p; c
用以上特征衡量，用微電子技術（但不限于此）制
造的微小機構、器件、部件和系統(tǒng)等都屬于M E M S 范
圍，微機械和微系統(tǒng)只是M E M S 發(fā)展的不同層次，有
關的科學技術都可統(tǒng)稱為M E M S 技術。
1 a5 a1 V! l' F# i/ W 當前，信息技術已走上多媒體、網(wǎng)絡化和智能化的
道路，微電子信息處理已向系統(tǒng)級芯片集成發(fā)展。無論
從微型化或性能價格比發(fā)展看，信息獲取（傳感）技術
和信息執(zhí)行技術，即所謂“外部設備”技術都已成為發(fā)
展的瓶頸；它們與“主機”的接口（H I ）也成為阻礙
處理速度的關鍵。M E M S 技術的目標是把信息獲取、
處理和執(zhí)行一體化地集成在一起，使之成為真正的系統(tǒng)
，因此該技術對信息技術的革命意義是不言而喻的。對
傳統(tǒng)的“機械學”來說，M E M S 技術不僅打開了“微
尺寸”新領域的大門，也是真正實現(xiàn)機電一體化的開始
。M E M S 被認為是微電子技術的又一次革命，對2 1
世紀的科學技術、生產(chǎn)方式和人類生活質量都會有深遠
的影響。
+ I$ l, |* Q) \ p/ D h" p
（原載《科技導報》9 ／1 9 9 7 ，本文是一篇論
文的引言部分）
" x- A$ M" X$ ^4 C+ z 《人民日報》（1 9 9 7 1 1 2 6 十版） |